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[導讀]IBM技術聯(lián)盟成員GlobalFoundries和Samsung否認了近期聯(lián)盟在高k/金屬柵技術上遇到了麻煩。 在高k/金屬柵上IBM集團采用Gate-first工藝,而Intel和臺積電等大廠則采用Gate-last工藝。 Barclay銀行分析師Andrew Lu稱

IBM技術聯(lián)盟成員GlobalFoundries和Samsung否認了近期聯(lián)盟在高k/金屬柵技術上遇到了麻煩。
在高k/金屬柵上IBM集團采用Gate-first工藝,而Intel和臺積電等大廠則采用Gate-last工藝。
Barclay銀行分析師Andrew Lu稱,IBM集團在采用Gate-first工藝的過程中遇到了熱穩(wěn)定性、閾值電壓漂移和柵堆疊層再生長等問題,這對于PMOS來說是非常嚴重的問題。
Lu還表示,預計臺積電有望憑借Gate-last工藝在28nm轉移戰(zhàn)中占得先機。
IBM集團成員否認這一說法。GlobalFoundries稱,在Gate-first問題上存在著一些誤區(qū)?!拔覀兒徒鹑诜治鰩煹穆?lián)系不是很緊密,因為我們不是一家上市公司,所以他們得到的并非最新信息。”三星則稱:“大家都知道我們在6月就認證了32nm高k/金屬柵工藝,并未遇到這種問題?!?
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