也因此科磊今年并購了兩家晶圓級量測業(yè)者─OnWafer以及SensArray公司，使得科磊成為目前市場上唯一一家能夠提供晶圓級量測設備的廠商。

    科磊的Promesys部門業(yè)務開發(fā)總監(jiān)王時慶解釋說，SensArray公司成立于1987年，是市場上首先推出晶圓級量測方案的業(yè)者。它是透過將傳感器(Sensor)內建于晶圓上，以便能在制程中實時進行相關的量測。但SensArray的方案是采有線的傳感器設計。而另一間OnWafer公司則是成立于2000年，并開發(fā)出無線的晶圓級量測方案。

    科磊今年并購了這兩間公司后，則將其產品與技術整合，成立了Promesys部門(processmetrologysystems等前綴的簡稱)，并于日前推出新的SensorWafers產品。

    王時慶表示，在電漿蝕刻(plasmaetch)制程中，如何對關鍵尺寸(criticaldimension)以及組件效能進行控制，是一重要關鍵。但整個蝕刻的硬設備非常復雜，且維護的成本也很昂貴。

    為了解決半導體業(yè)者的這些問題，科磊推出的SensorWafers產品，可透過晶圓上內建42個溫度傳感器的PlasmaTemp，或是另一套內建7個可量測電氣特性傳感器的PlasmaVolt，能夠在蝕刻過程中實時量測出晶圓上所有位置的溫度與電壓變異。

    王時慶指出，透過這樣的方式，業(yè)者可以在最短時間內了解晶圓的溫度變化情況，并予以調整，以解決各個蝕刻chamber中因制程參數(shù)變異而產生的缺陷，并能夠正確的評估蝕刻chamber的效能。透過這種晶圓級量測技術，不但能夠進行更佳的制程控制，同時也能免除傳統(tǒng)利用許多測試晶圓進行量測的時間與成本。

    王時慶強調，合并兩家公司后，科磊將持續(xù)進行技術與產品的整合，希望能為業(yè)者提供更完整的晶圓級量測方案。