三年的時間,一支平均年齡不到三十五歲的湖南科研團隊讓國內主流
集成電路生產線上首次出現(xiàn)了
國產核心裝備,走完了發(fā)達國家十五年才走完的路。
中國電子科技集團公司第四十八研究所所長唐景庭是這支湖南科研團隊的領軍人物,在他的率領下,二零零三年十二月,四十二名科研人員踏上了北上的征程,組建
離子注入機的研發(fā)項目攻關組。一百納米離子注入機是生產集成電路的核心技術,該項目跨越技術水平近五代,國內沒有任何可參考的資料和機型,設備復雜程度和技術難度前所未有,特別是國外對該技術一直實行技術封鎖。這種局面一直使國內從事離子注入機技術的科研人員抬不起頭來,特別是國內
集成電路制造公司只能從國外購買一些淘汰的裝備。用科研人員的話說,這是用我們的血汗錢購買別人不要的廢品。沒有技術就要被動落后,
離子注入機項目被確定為八六三重大專項,唐景庭和科研團隊在北京開始夜以繼日的研發(fā)工作。剛到北京時,他們六個人擠在一個房間,在租用的寫字樓里辦公,每天工作在十個小時以上。最后,現(xiàn)場調試紙堆起來差不多有一人高。
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