中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(AMEC)，日前宣布總金額為4千6百萬美元的第四期融資圓滿結(jié)束。中微公司原有投資方上海創(chuàng)業(yè)投資有限投資公司,美國華登國際風險投資公司，光速風險投資合伙人，美國高盛公司，紅點風險投資，全球催化劑合伙人，中西部合伙人，灣區(qū)合伙人，以及美國高通公司投資部繼續(xù)參與了這輪投資。自2004年成立以來，中微公司從風險投資公司融資總數(shù)超過了1億5千萬美元。

“我欣慰的看到中微公司在去年的金融危機，和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)極度不景氣的情況下，經(jīng)受住考驗。”上海創(chuàng)業(yè)投資公司總裁，王品高先生指出“在等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品開發(fā)和產(chǎn)品初步進入市場上，取得了可喜的進步，在中國半導(dǎo)體設(shè)備工業(yè)的發(fā)展中，起了帶頭作用。我相信，中微在今后的幾年，一定能將其產(chǎn)品全面進入市場，實現(xiàn)量產(chǎn)，為芯片生產(chǎn)客戶提供先進的設(shè)備產(chǎn)品和良好的技術(shù)服務(wù)。我們上海創(chuàng)投會繼續(xù)盡我們最大的努力支持中微實現(xiàn)他們的目標。”

美國華登國際董事長陳立武 (Lip-Bu Tan)認為 “隨著半導(dǎo)體工業(yè)向更先進的32/22納米工藝發(fā)展，代工廠正在通過擴大產(chǎn)能來趕上先進技術(shù)的更高要求。中微公司已經(jīng)募集到足夠的資金，并開發(fā)出具有極佳性能，極高產(chǎn)能和極低運營成本的設(shè)備以滿足這種先進制造的要求。我完全相信中微管理團隊能面對挑戰(zhàn)，幫助業(yè)界滿足這種需求。”

“中微公司管理團隊在半導(dǎo)體行業(yè)的低谷和全球金融危機時, 克服種種困難，堅持執(zhí)行企業(yè)制定的計劃。當設(shè)備市場在復(fù)蘇和增長時，提供了極好的設(shè)備產(chǎn)品。” 光速風險投資合伙人公司的董事總經(jīng)理 Chris Schaepe 說：“領(lǐng)先的芯片廠商逐步的接受和肯定中微公司的技術(shù)和產(chǎn)品，和中微的產(chǎn)品進一步的規(guī)劃是鼓舞人心的。我們期待中微公司繼續(xù)保持發(fā)展的勢頭，能隨著這個行業(yè)的復(fù)蘇和市場對不同刻蝕設(shè)備需求的增加，而有更大的發(fā)展。”

“這次資金的投入，為我們產(chǎn)品進一步市場化和加速量產(chǎn)，提供了更好的保障 ” 中微公司董事長兼首席執(zhí)行官，尹志堯博士進一步指出：“盡管緊縮的資本市場和不利的經(jīng)濟大環(huán)境，對一個剛剛起步的公司來說是極富挑戰(zhàn)性的。但是我們?nèi)匀槐３种鲃舆M取的創(chuàng)新精神。這使得我們有能力向客戶提供用來制造最先進器件的最好的等離子刻蝕設(shè)備。中微公司的刻蝕設(shè)備以最大的產(chǎn)能，優(yōu)異的性能和成本優(yōu)勢，進入了亞洲各個地區(qū)的芯片制造廠。我們對投資方和客戶對中微公司的信心和持續(xù)的支持表示非常感謝”

自上期融資以來，中微公司致力于Primo-RIE 系列刻蝕設(shè)備的市場布局。今天，有5家亞洲芯片公司先后接受了中微公司的刻蝕系統(tǒng)，他們包括代工廠和存儲器生產(chǎn)廠家，研發(fā)和生產(chǎn)從65納米到45納米的器件，并可以延伸到32納米，甚至更小的器件。在不同的芯片制造廠家已得到重復(fù)訂貨，并已順利啟動。在2010年將會有更多的設(shè)備運往現(xiàn)有客戶的大規(guī)模生產(chǎn)線上，或運往新的客戶。

芯片制造商被中微的PRIMO D-RIE系統(tǒng)獨特的設(shè)計所吸引---創(chuàng)新的甚高頻去耦合離子反應(yīng)技術(shù)，和雙反應(yīng)臺，但具有各反應(yīng)臺單獨控制能力的，多臺反應(yīng)器系統(tǒng)。先進的設(shè)計和高質(zhì)量的制造，使中微公司Primo D-RIE成為市場上具有高產(chǎn)能，可靠性高，以及成本優(yōu)勢顯著的刻蝕設(shè)備。去年，這個系統(tǒng)榮獲了美國最有影響力的行業(yè)雜志—國際半導(dǎo)體雜志的2009年度最佳產(chǎn)品獎。 除此以外，在此期間中微公司及其設(shè)備先后在各地區(qū)地區(qū)榮獲了9個獎項。

另外最近值得注意的進展是中微公司與美國應(yīng)用材料公司結(jié)束了所有的知識產(chǎn)權(quán)爭執(zhí)，并達成共同尋求合作機會的共識。