二手設(shè)備市場迅速升溫,據(jù)Gartner最新預(yù)測,2010年比2009年增長65%, 如果計(jì)及各種供應(yīng)渠道在2010年其市場規(guī)模達(dá)21億美元。盡管對于二手設(shè)備的定義有時(shí)易混淆, 直到2002年開始有眾多分散的及小型的中間商將二手設(shè)備從一個(gè)fab轉(zhuǎn)移到另一個(gè)。非常相似于房地產(chǎn)中介公司,它們在出售者與購買者之間牽線達(dá)成交易, 而它們除了時(shí)間與付出努力之外,幾乎只要少許投資。然而購買新設(shè)備與二手設(shè)備之間有很大差別, 后者通常是缺乏技術(shù)支持, 維修服務(wù)及設(shè)備的保證期。

隨著半導(dǎo)體業(yè)越來越趨成熟, 那些原始器件制造商(ODM) 開始對于二手設(shè)備有更多的需求, 所以在新設(shè)備與二手設(shè)備間關(guān)于它們的認(rèn)識(shí)己經(jīng)差異并不太大?，F(xiàn)在許多半導(dǎo)體設(shè)備制造商如Suss Micro Tec及KLA-Tencor都有自已的二手設(shè)備部, 而且該部門日益在擴(kuò)大。它們通過全球運(yùn)作給予客戶有各種二手設(shè)備的選擇。

定義二手設(shè)備市場

二手設(shè)備市場可以分為OEM(原始設(shè)備制造商)銷售,fab to fab銷售, 租賃及中間商銷售及翻新設(shè)備商銷售。對于新設(shè)備的銷售實(shí)際上是起補(bǔ)充作用, 尤其從設(shè)備的供貨周期等考慮通常為新設(shè)備的一半時(shí)間與價(jià)格為新的40-70%。

從目前情況看,150mm設(shè)備主要是翻新設(shè)備市場, 二手的200mm設(shè)備開始呈上升趨勢, 至少可持續(xù)到2010年底?？尚业氖?00mm設(shè)備也開始進(jìn)入二手設(shè)備市場, 如奇夢達(dá)關(guān)閉,出售其整條12英寸生產(chǎn)線給德儀,用作模擬電路生產(chǎn)。

在此次產(chǎn)業(yè)下降時(shí)期,許多模擬電路制造商關(guān)閉其現(xiàn)有的100mm及150mm生產(chǎn)線,而進(jìn)入200mm硅片時(shí)代, 它們的眾多設(shè)備成了二手設(shè)備的來源。目前全球代工市場開始紅火,它們積極地?cái)U(kuò)充產(chǎn)能。中國許多芯片制造商可能是二手設(shè)備的最大買主之一, 從常識(shí)出發(fā),中國芯片制造商不太可能去追逐最先進(jìn)工藝制程的競爭。

Solar,MEMS及LED制造商也開始加入翻新設(shè)備市場, 與先進(jìn)IC技術(shù)制造商開展競爭, 目前來看它們的終端市場很紅火, 生產(chǎn)設(shè)備呈現(xiàn)短缺, 導(dǎo)致二手設(shè)備市場也開始向它們供貨,以滿足這些專有市場的需要。

即便是那些品牌大廠也購買翻新設(shè)備,因?yàn)榻鼤r(shí)期(2004年之前) 來的設(shè)備能提供一流的產(chǎn)能及所有先進(jìn)制程技術(shù)的能力。如果不是追求最先進(jìn)的技術(shù), 從成本費(fèi)用節(jié)省角度購買二手設(shè)備是有吸引力的, 加之, 即便是核心設(shè)備, 在正常情況下也能工作另一個(gè)15年或以上。

翻新工藝

今天的翻新設(shè)備大多是由1990年代中期的設(shè)備經(jīng)過翻新而成。翻新設(shè)備工藝通常是首先分解部件, 有些部件換成全新的, 然后按照OEM的指標(biāo)重新裝配在一起。從外觀看, 這些翻新設(shè)備看起來如整舊如新, 表面都經(jīng)過拋光或者重新噴漆。OEM提供設(shè)備的定期維護(hù)計(jì)劃是十分嚴(yán)格,迫使翻新設(shè)備商也跟隨設(shè)備制造商的推薦把那些必要部件進(jìn)行更換。如典型的KLA-Tencor的Surfscan顆粒檢測儀, 通常激光器與電源都要換成新的，由于光學(xué)系統(tǒng)通常不會(huì)損傷，所以進(jìn)行必要的清洗, 調(diào)整與定位。

而且整個(gè)翻新過程在潔凈間中進(jìn)行, 當(dāng)設(shè)備出廠之前會(huì)邀請客戶至翻新現(xiàn)場作最終驗(yàn)收測試。

與過去時(shí)代大不一樣, 二手設(shè)備通常附帶的資料非常有限, 今天對于翻新設(shè)備尤其是非常復(fù)雜的如光刻機(jī)等, 其安裝, 調(diào)試驗(yàn)收及培訓(xùn), 所有一切翻新者都必須能提供。

翻新設(shè)備的軟件仍是有些購買者的關(guān)注點(diǎn)。一臺(tái)翻新設(shè)備通常帶的是那個(gè)年代的軟件版本, 如果需要最新的軟件版本,購買者必須到原廠去購買軟件的許可證。關(guān)鍵問題是購買如新設(shè)備那樣的軟件版本，從費(fèi)用上是否合理, 相信是昂貴的。大部分二手設(shè)備客戶還是愿意使用經(jīng)過證實(shí)運(yùn)行是穩(wěn)定及可靠的軟件, 但版本不一定是最新的。

SEMI作為全球貿(mào)易工業(yè)協(xié)會(huì)關(guān)于設(shè)備方面軟件的應(yīng)用十分有興趣, 在2008年時(shí)它購買了SEC/N, 一家剩余的設(shè)備聯(lián)盟網(wǎng)站, 能為二手設(shè)備市場的軟件, 稱之為SESTG(Secordary Equipment,Srvice and Technology Group)提供邦助。

無論對于半導(dǎo)體設(shè)備的質(zhì)量與壽命及日益增強(qiáng)的需求，在業(yè)界中二手設(shè)備作為一種渠道已經(jīng)得到市場的肯定。

一個(gè)實(shí)例

近期有一臺(tái)翻新設(shè)備提供給客戶是Karl Suss公司的MA150cc光刻機(jī),, 根據(jù)配置不同, 它的原始出廠價(jià)在50-70萬美元范圍。有一年保證期包括安裝與培訓(xùn)。供貨周期為4-6個(gè)月。

ClassOne公司提供的翻新設(shè)備價(jià)格在22,5-27,5萬美元(取決于不同配置), 保證期為6個(gè)月, 同樣包括安裝與培訓(xùn)。供貨期為2個(gè)月。

翻新工藝

所有主要部件經(jīng)過分解, 包括基臺(tái),TSA顯微鏡操縱器,BSA顯微鏡操縱器, 硅片傳送機(jī)構(gòu), 片盒升降體, 快門組件, 燈源部分,WEC頭及Z軸。所有驅(qū)動(dòng)皮帶, 開關(guān)及彎管(移動(dòng)的管) 都更換新的。所有光源快門及透鏡園柱體更換。預(yù)對準(zhǔn)部分整體清潔及添加潤滑油脂。所有操作器進(jìn)行校正及顯微鏡進(jìn)行重新測試與組裝。公司為最終客戶進(jìn)行硅片測試, 包括光源校正, 并保證達(dá)到設(shè)備的原始出廠指標(biāo)。

結(jié)論

最終用戶收到一臺(tái)幾乎全新的光刻機(jī), 經(jīng)過完全的翻新, 僅用新設(shè)備一半的價(jià)格, 而且供貨期縮短一半。它達(dá)到原始出廠指標(biāo), 可供量產(chǎn)使用若干年。