據(jù)外媒報道，日本已批準向三星出口氟化氫，氟化氫是蝕刻和清洗晶圓的關(guān)鍵材料，三星能在明年年初用到這種材料。

據(jù)了解，這是自日本政府7月初對韓加強出口管制以來，氟化氫首次獲得出口許可。此次進口方是韓國三星電子，該公司7月4日前后提出申請。

韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部相關(guān)人士當日表示，已確認日本政府加強出口管制后首次批準出口氟化氫。

高純度的電子級氟化氫是氟精細化學品的一種，在半導(dǎo)體制造工藝中主要用于去除膜沉積后粘附在化學氣相沉積爐內(nèi)的不必要化學物質(zhì)、等離子刻蝕、光刻膠圖案化之后的蝕刻細槽或孔等流程。

7月4日起，日本政府將高純度氟化氫、氟化聚酰亞胺、光刻膠等轉(zhuǎn)為特別許可名單，加強管制半導(dǎo)體、顯示器等核心原料出口。原本同一出口來源只需3年審查一次，但日本新政策出臺后，這些原料每次出口都需要取得許可，加上審核流程比過往復(fù)雜，審核時間最長達90天。

8月初的時候，日本政府決定向韓國出口一些半導(dǎo)體制造材料，當時獲得批準的是一種名為EUV光刻膠的材料，這對于三星的先進合約芯片制造生產(chǎn)至關(guān)重要。

據(jù)韓媒《edaily》8月29日的報道，日本財務(wù)省于29日公布7月份貿(mào)易統(tǒng)計，其中氟化氫對韓國出口量為479噸（t），和6月相比，驟減83.7％。

日媒《朝日新聞》指出，雖然無法得知整體氟化氫中，有多少高純度氟化氫（氟含量占3成以上）是受日本出口限制影響，但該衰退趨勢很可能是受日本強化出口限制影響。