IGBT 基礎(chǔ)教程:第 3 部分PT與NPT芯片介紹
所謂PT(PunchThrough,穿通型),是指電場穿透了N-漂移區(qū),電子與空穴的主要匯合點(diǎn)在N一區(qū)。NPT在實(shí)驗(yàn)室實(shí)現(xiàn)的時(shí)間(1982年)要早于PT(1985),但技術(shù)上的原因使得PT規(guī)模商用化的時(shí)間比NPT早,所以第1代IGBT產(chǎn)品以PT型為主。PT-IGBT很好地解決了IGBT的閂鎖問題,但是需要增加外延層厚度,技術(shù)復(fù)雜,成本也高。IGBT芯片中的外延層與電壓規(guī)格是直接相關(guān)的,電壓規(guī)格越高、外延層越厚,IZOOV、2000V的PT-IGBT外延層厚度分別達(dá)到了100μm和200μm。
所謂NPT(Non-PunchThrough,非穿通),是指電場沒有穿透N-漂移區(qū)。NPT的基本技術(shù)原理是取消N十緩沖區(qū),直接在集電區(qū)注入空間電荷形成高阻區(qū),電子與空穴的主要匯合點(diǎn)換成了P十集電區(qū)。這項(xiàng)技術(shù)又被稱為離子注入法、離子摻雜工藝。
PT與NPT生產(chǎn)工藝的區(qū)別如下:
PT-IGBT芯片的生產(chǎn)從集電區(qū)(P+背發(fā)射區(qū))開始,先在單晶硅的背面生成低摻雜的P+發(fā)射區(qū),然后用外延工藝在單晶硅的正面依次生成N十緩沖區(qū)、MOS結(jié)構(gòu)。
NPT-IGBT芯片的生產(chǎn)從基區(qū)(N-漂移區(qū))開始,先在N型單晶硅的正面生成MOs結(jié)構(gòu),然后用研磨減薄工藝從背面減薄到IGBT電壓規(guī)格需要L的厚度,再從背面用離子注入工藝生成集電區(qū)。
兩種技術(shù)性能對比如下:
傳導(dǎo)損耗
對于給定的開關(guān)速度,NPT 技術(shù)通常比 PT 技術(shù)具有更高的 VCE(on)。這種差異被進(jìn)一步放大的事實(shí)是,對于 NPT(正溫度系數(shù)),VCE(on) 隨著溫度的升高而增加,而對于 PT(負(fù)溫度系數(shù)),VCE(on) 隨著溫度的降低而降低。然而,對于任何 IGBT,無論是 PT 還是 NPT,開關(guān)損耗都會與 VCE(on) 進(jìn)行權(quán)衡。更高速度的 IGBT 具有更高的 VCE(on);較低速度的 IGBT 具有較低的 VCE(on)。事實(shí)上,一個(gè)非??斓?PT 設(shè)備可能具有比開關(guān)速度較慢的 NPT 設(shè)備更高的 VCE(on)。
開關(guān)損耗
對于給定的 VCE(on),PT IGBT 具有更高的開關(guān)速度和更低的總開關(guān)能量。這是由于較高的增益和少數(shù)載流子壽命縮短,這會抑制尾電流。
堅(jiān)固性
NPT IGBT 通常具有短路額定值,而 PT 器件通常沒有,并且 NPT IGBT 可以比 PT IGBT 吸收更多的雪崩能量。由于 PNP 雙極晶體管的基極更寬且增益更低,NPT 技術(shù)更加堅(jiān)固耐用。這是通過使用 NPT 技術(shù)權(quán)衡開關(guān)速度所獲得的主要優(yōu)勢。制造具有大于 600 伏 VCES 的 PT IGBT 很困難,而使用 NPT 技術(shù)卻很容易做到。Advanced Power Technology 確實(shí)提供了一系列非??焖俚?1200 伏 PT IGBT,即 Power MOS 7 IGBT 系列。
溫度影響
對于 PT 和 NPT IGBT,開通開關(guān)速度和損耗實(shí)際上不受溫度影響。然而,二極管中的反向恢復(fù)電流會隨著溫度的升高而增加,因此電源電路中外部二極管的溫度效應(yīng)會影響 IGBT 的開通損耗。對于 NPT IGBT,關(guān)斷速度和開關(guān)損耗在工作溫度范圍內(nèi)保持相對恒定。對于 PT IGBT,關(guān)斷速度會降低,因此開關(guān)損耗會隨著溫度的升高而增加。然而,由于尾電流淬滅,開關(guān)損耗開始時(shí)很低。
如前所述,NPT IGBT 通常具有正溫度系數(shù),這使得它們非常適合并聯(lián)。并聯(lián)設(shè)備需要正溫度系數(shù),因?yàn)闊嵩O(shè)備將比冷設(shè)備傳導(dǎo)更少的電流,因此所有并聯(lián)設(shè)備傾向于自然共享電流。然而,由于溫度系數(shù)為負(fù),PT IGBT 不能并聯(lián)是一種誤解。PT IGBT 可以并聯(lián)是因?yàn)椋?
· 它們的溫度系數(shù)往往幾乎為零,有時(shí)在較高電流下為正。
· 通過散熱器共享熱量往往會迫使設(shè)備共享電流,因?yàn)闊嵩O(shè)備會加熱其鄰居,從而降低它們的導(dǎo)通電壓。
· 影響溫度系數(shù)的參數(shù)往往在器件之間很好地匹配。