平面全屬化封裝技術(shù)
由于引線(xiàn)互連帶來(lái)的種種問(wèn)題,人們開(kāi)始研究如何改進(jìn)互連技術(shù),以避免采用引線(xiàn)。1995年以后,陸續(xù)開(kāi)發(fā)出了一些無(wú)引線(xiàn)的集成功率模塊,其特點(diǎn)是:互連結(jié)構(gòu)的電感小、散熱好、封裝牢固等。圖1(a)、圖1(b)、圖1(c)分別給出了三種不同引線(xiàn)鍵合(Non-Wire Bond)的集成功率模塊技術(shù):(a)嵌人功率器件(CPES,1999),(b)層疊式器件PowerOverlay,(c)倒裝芯片法(參考APEC⒛00)。嵌入功率器件的平面金屬化封裝技術(shù)是其中較好的一種。
圖1 不用引線(xiàn)鍵合的集成功率模塊
圖2給出了一個(gè)集成模塊的剖面圖,應(yīng)用了嵌入功率器件的多層集成封裝技術(shù)。包括:散熱板、基板、絕緣傳熱材料、功率母線(xiàn)、功率器件、銅層、陶瓷、集成無(wú)源模塊、金屬層、表面貼裝芯片(驅(qū)動(dòng)、檢測(cè)及保護(hù)元件)等。這種三維多層集成封裝技術(shù),將功率模塊、集成電路等做成三明治(Sandwich)結(jié)構(gòu)形式。
圖2 嵌入功率器件的多層集成封裝的剖面圖
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