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[導讀] 在半導體工業(yè)中,用戶對于提高測試效率和產能的需求達到了前所未有的水平??焖僮兏募夹g對測試的復雜性和速度提出了更高需求,其目的是為了增加產品可靠性,縮短產品上市時間。吉時利最新的C-V測試系

在半導體工業(yè)中,用戶對于提高測試效率和產能的需求達到了前所未有的水平。快速變更的技術對測試的復雜性和速度提出了更高需求,其目的是為了增加產品可靠性,縮短產品上市時間。吉時利最新的C-V測試系統(tǒng)滿足了這一需求,該系統(tǒng)是同類產品中第一個在緊湊的臺式設計中緊密集成了C-V/I-V/脈沖測試功能的系統(tǒng),無論用戶是否具有相關測量經驗,都能使用該系統(tǒng)進行專業(yè)測量。同時,該系統(tǒng)的性價比很高,使用該系統(tǒng)能夠為半導體工廠、實驗室節(jié)省大筆開銷。

4200-CVU是吉時利最新C-V測量設備,是為功能強大的4200-SCS半導體特征分析系統(tǒng)專門定制。4200-CVU能以測量模塊的形式插入4200-SCS的任意可用儀器插槽中,能在10KHz到10MHz的頻率范圍內快速、方便地測量飛法(fF)和納法(nF)級電容。在4200-CVU的創(chuàng)新設計中采用了當前最先進的高性能電路,有8項專利正在申請中。該設備具有直觀的點擊式配置界面,線纜連接簡單,內置的元件模型能夠使用戶直接獲得有效的C-V測量結果。

4200-CVU附帶了最完整的測試庫,在與吉時利 4200-LS-LC-12結合使用時能夠
實現(xiàn)更高測量效率, 4200-LS-LC-12為帶有電纜和適配器的專用開關矩陣卡,通過單針探測就能實現(xiàn)高度集成的C-V/I-V測試 。4200-PROBER-KIT是可選模塊,使用該模塊能很容易地將4200-SCS與各種廣泛使用的探頭相連,最終用戶能像I-V測試一樣輕松配置和執(zhí)行功能全面的C-V測試。

廣泛的應用支持

吉時利始終在C-V測量領域處于領先地位,通過4200這一半導體測量儀器就能滿足非常廣泛的測量應用需求,其中涵蓋了種類豐富的探測器、器件類型、制造工藝以及包括脈沖I-V在內的測量方法學。4200-CVU及其可選模塊可以解決其他特征分析系統(tǒng)無法解決的問題,例如無法提供完整的C-V/I-V/脈沖,或者用戶接口和軟件庫支持不足。此外,該系統(tǒng)靈活而強大的測試執(zhí)行引擎能夠十分方便地在同一測試序列中整合C-V、I-V和脈沖測試。因此,4200-SCS憑借其單一、緊密集成的特征分析解決方案替代多種電路測試工具。即便如此,吉時利公司4200-SCS仍支持利用各種第三方測試設備進行C-V/I-V/脈沖測試的測試方法。

強大的軟件

使測試更易于配置和分析的關鍵因素之一是軟件用戶圖形界面(Graphical User InteRFace,GUI)。根據多年客戶交互和反饋的研發(fā)經驗,新型4200-CVU硬件和軟件模塊仍將保持該易于使用的特點,它們是4200-SCS交互式測試環(huán)境和執(zhí)行引擎的自然延伸。吉時利為4200-CVU的硬件提供了大量程序范例、測試庫、以及唾手可得的內置參數提取實例。八個軟件庫為用戶提供最廣泛的C-V測試和分析功能,涵蓋所有標準應用,其中包括C-V、C-t、C-f的測量與分析,以及結電容、管腳間電容和互連電容的測量。這些測試包括各種線性的和自定義的C-V 掃描,包括4096個及以下數據點組成的任意DC波形。

4200-CVU為用戶附帶提供整套C-V測試范例和參數提取公式,以便在進行半導體技術研發(fā) 、工藝研發(fā)和可靠性技術研究時,根據需要加高效地使用這些測試工具。

不同于其他特征分析系統(tǒng),吉時利C-V/I-V分析提取工具為用戶提供一種定義清晰的開放式環(huán)境,用戶能很方便地修改和定制自己的測試例程。同時提供的項目范例是基于標準教材模型和吉時利工程師的深厚工程經驗開發(fā)而成,大大縮短程序開發(fā)時間。

通過簡短學習操作,功能強大的4200-SCS就能夠為用戶提供最佳的使用體驗。如何提高器件特征分析和建模的產能和效率,是一直困擾著半導體實驗室管理者的問題,如果使用4200-SCS,那么這些問題將迎刃而解。例如:能大大縮短培訓時間,在多用戶實驗環(huán)境中更加顯著。

高度通用的測試環(huán)境

除了能夠在一個功能靈活、高度集成的測試環(huán)境中實現(xiàn)I-V、C-V和脈沖測試之外,4200-SCS還提供多種備選的功能,主要包括8個中、高功率的DC源測量單元(SMU)、雙通道脈沖、波形發(fā)生器和一個完整的數字示波器。同4200-CVU一樣,所有這些設備都可插入到4200-SCS的設備插槽中,并且通過功能強大的吉時利交互式測試環(huán)境(KTEI,7.0版)進行控制。點擊式用戶界面能夠幫助用戶輕松實現(xiàn)一系列的測試設置、測試序列控制和數據分析操作。KTEI還能控制外部設備,包括大部分常用的探測器、高溫卡盤(hot chuck)和測試夾具,以及吉時利高集成度的、當前業(yè)界連接功能最靈活的開關矩陣。

4200-CVU還提供了多種先進的診斷工具,幫助用戶確保C-V測量結果的正確性。在用戶不能確定測試結果是否準確時,只要點擊屏幕上“Confidence Check”按鈕,或者使用實時面板屏蔽部分測試設置進行驗證就可以。
充分利用現(xiàn)有投資

許多儀器廠商生產的系列產品之間不能互相兼容,一個新產品的問世則往往意味著之前產品的終結,無法實現(xiàn)對用戶的現(xiàn)有投資的充分利用。吉時利對4200-SCS用戶提供持續(xù)軟硬件升級服務,這意味著4200-CVU模塊及其所有相關軟件和可選硬件都能夠兼容早期的4200-SCS系統(tǒng)。由此,用戶完全無須因為設備或材料技術的更新而頻繁購買新的參數化分析儀。通過低成本升級,4200-SCS系統(tǒng)能夠滿足技術進步帶來的測試需求, 滿足當前競爭激烈的測量需求,最大限度地降低對外部硬件和測試程序的投資。

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