韓國SK Materials周三表示，已啟動用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工序的氟化氫氣體的量產(chǎn)。

據(jù)報(bào)道，SK Materials已在韓國東部的榮州市的工廠啟動量產(chǎn)。該公司表示，實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)的氟化氫氣體達(dá)到被稱為“five nine(5個(gè)9)”的純度，即99.999%。雖然品質(zhì)仍低于日本原材料廠商此前出口的11個(gè)9這一超高純度的“Eleven Nine”，但在半導(dǎo)體晶圓的清洗等一部分生產(chǎn)工序已開始使用。

21ic家注意到，日本去年7月開始限制三種高科技材料對韓國的出口，直接影響到了韓國經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)-半導(dǎo)體制造。作為半導(dǎo)體制造大廠，三星電子和SK海力士極度依賴日本的原材料供應(yīng)，日本的限售對韓國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)影響巨大，為此，韓國企業(yè)尋找代替供應(yīng)企業(yè)，韓國的材料廠商也獲得政府支援，一直在加快相關(guān)材料的國產(chǎn)化。短短一年時(shí)間，韓國企業(yè)就實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)，化解了限售危機(jī)。

SK Materials在日本加強(qiáng)對韓出口管理之后，于2019年11月建立了相關(guān)材料的開發(fā)中心。在充分利用SK海力士設(shè)立的基金資金的同時(shí)，一直推進(jìn)實(shí)現(xiàn)氟化氫量產(chǎn)化的研發(fā)。目前已使全年15噸規(guī)模的生產(chǎn)設(shè)備投入運(yùn)行，計(jì)劃到2023年將韓國國內(nèi)半導(dǎo)體生產(chǎn)所用的氟化氫的國產(chǎn)化比率提高至70%。

日本的氟化氫相關(guān)廠商會有何感想呢?