白光干涉儀可應用于半導體、攝像頭、線路板、顯示面板等行業(yè)。在3D檢測領域，白光干涉儀是精度最高的測量儀器之一。在同等系統(tǒng)放大倍率下，其檢測精度和重復精度都高于傳統(tǒng)的檢測方法。甚至在一些納米級和亞納米級的超精密加工領域，只有白光干涉儀能夠達到檢測的精度要求。

1、白光干涉檢測原理

光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束，一束光經(jīng)被測表面反射，另外一束經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉，被測表面的形貌特征轉化為干涉條紋信號。通過測量干涉條紋的變化，并結合自主研發(fā)的高效算法，可以實現(xiàn)亞微米級的表面三維形貌測量。

“相比較傳統(tǒng)測量手段，更多優(yōu)勢顯現(xiàn)”

應用實例：

5G高頻電路板檢測

精密零件檢測

攝像頭模組檢測

高精度、大范圍、高速度，分辨率優(yōu)于0.1微米，重復精度優(yōu)于0.5微米。

2、可測材料種類豐富，金屬、陶瓷、玻璃、樹脂、塑料。

“高頻電路板測試3D圖，樹脂、銅不同材質只能顏色區(qū)分”

目前應用場景涵蓋，PCB3D檢測;集成電路3D檢測;膠線3D檢測;手機外殼檢測;機械/玻璃/塑料表面缺陷檢測。

PCB3D檢測圖

“照明區(qū)域均可以測量，針對不同類型的PCB板

3、電路板測量二維圖

配套測量軟件可實時讀取測量值，標記特征點，識別各種缺陷，對加工質量進行嚴格把關。