什么是光刻機?它在應(yīng)用時的基本原理是什么?
光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸范圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產(chǎn)效率等。-
什么是光刻機?它在應(yīng)用時的基本原理是什么?
光刻機(Lithography)是一種常見的微電子制造技術(shù),用來在半導體片表面制造電路圖案。光刻機利用特殊的光學技術(shù)從導入的制圖數(shù)據(jù)生成微小的圖案,并將它們印制到半導體片上。目前,光刻機是制造集...
2023-08-26 15:40:01 -
總投資130億元!江蘇一芯片廠進入破產(chǎn)清算,二手ASML光刻機拍賣無人問津
...光刻機進行了公開拍賣。但因缺少潛在買家,該設(shè)備的拍賣信息目前已被撤回。圖片來源:全國企業(yè)破產(chǎn)重整案件信息網(wǎng)圖片來源:江蘇省淮安市淮陰區(qū)人民法院淘寶網(wǎng)司法拍賣網(wǎng)絡(luò)平臺根據(jù)官網(wǎng)介...
2023-08-30 08:39:44 -
光刻機的國內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀如何?在技術(shù)上存在哪些差距?
...光刻機行業(yè)一直處于發(fā)展的起步階段,盡管在技術(shù)上積累了大量的經(jīng)驗,已經(jīng)能夠制作出14納米左右的芯片,但是相對國外的工藝而言,這還有很大的差距,面臨著重重挑戰(zhàn)。目前,中國的光刻機...
2023-08-27 09:00:01 -
日本光刻機徹底沒落!尼康二季度只賣了6臺
...光刻機大廠尼康于8月8日盤后公布了今年二季度(2023年4-6月)財報。雖然中高端數(shù)字相機銷售強勁、出貨量增加,但是由于光刻機銷售量萎縮,導致合并營收雖然較去年同期增長了8....
2023-08-11 12:49:36 -
光刻機的工藝流程是怎樣的?設(shè)備的售價如何?
...光刻機是現(xiàn)代集成電路制造過程中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一,它在半導體工藝中起著至關(guān)重要的作用。本文將詳細介紹光刻機的工藝流程以及設(shè)備的售價。光刻技術(shù)是一種通過使用光學投影系統(tǒng)將芯...
2023-08-08 10:50:05 -
ASML狂賺500多億:“多余”的光刻機全都賣到了中國
...光刻機巨頭阿斯麥(ASML)發(fā)布了2023年第二季度財報。2023年第二季度,ASML實現(xiàn)了凈銷售額69億歐元(約合人民幣555億元),同比增長27%;凈利潤達19億歐元(約...
2023-07-20 19:53:25 -
ASML否認特供版DUV:沒有面向中國推出特別版光刻機
...光刻機,不過此事已經(jīng)辟謠,ASML表示一直以來ASML都遵守所適用的法律條例,公司并沒有面向中國市場推出特別版的光刻機。此前消息稱,ASML推出的特別版DUV光刻機基于Twi...
2023-07-07 13:12:18 -
ASML:支持7nm高端DUV光刻機仍可出口
...光刻機產(chǎn)品共有三款,分別是:TWINSCANNXT:1980Di、TWINSCANNXT:2000i、TWINSCANNXT:2050i。阿斯麥3月曾表示,預計2000i和2...
2023-07-05 12:53:51 -
ASML確認!荷蘭管制新規(guī)將影響這幾種型號光刻機出口
...光刻機巨頭ASML可以在此日期之前開始提交出口許可證申請,而荷蘭政府將會根據(jù)具體情況批準或拒絕這些申請?!商m升級管制新規(guī)在荷蘭政府限制出口的消息傳出之后,ASML第一時間在...
2023-07-02 22:07:08 -
ASML合作IMEC:共同加速推進新一代光刻機
...光刻機大廠ASML高管對外表示,半導體業(yè)只有通力合作,建立完全自主的產(chǎn)業(yè)鏈,即使并非不可能也會極其困難。
2023-06-30 12:53:32 -
ASML下代EUV光刻機年底問世:1nm工藝
...光刻機是少不了的關(guān)鍵設(shè)備,目前只有ASML能制造,單臺售價10億人民幣,今年底還會迎來下一代EUV光刻機,價格也會大漲。光刻機的分辨率越高,越有利于制造更小的晶體管,而分辨率...
2023-06-19 12:57:54 -
光刻機將成為歷史!麻省理工華裔研究出 2D 晶體管,輕松突破 1nm 工藝!
...光刻機作為芯片生產(chǎn)過程中的最主要的設(shè)備之一,其重要性不言而喻。先進的制程工藝完全依賴于先進的光刻機設(shè)備,比如現(xiàn)階段臺積電最先進的第二代3nm工藝,離不開EUV光刻機。然而,前...
2023-05-29 10:00:16 -
ASML加快拓展中國業(yè)務(wù):支持7nm高端DUV光刻機可出口
...光刻機,屬于193nm(光源)光刻機(分為干式和浸沒式),可以被用于16nm至7nm先進制程芯片的制造,但是目前也有被業(yè)界廣泛應(yīng)用在45nm及以下的成熟制程當中。ASML公司...
2023-04-28 12:59:44 -
臺積電發(fā)布Q1季度財報:EUV光刻機日耗電3萬度
...光刻機,新一代的EUV光刻機更是夸張,功率達到了100萬瓦,是上一代的10倍左右,每天耗電3萬度,而臺積電去年就差不多80臺EUV光刻機了,耗電量可想而知。據(jù)統(tǒng)計,臺積電20...
2023-04-23 13:06:17 -
ASML加大中國市場開拓:7nm高端DUV光刻機可出口
...光刻機,屬于193nm(光源)光刻機(分為干式和浸沒式),可以被用于16nm至7nm先進制程芯片的制造,但是目前也有被業(yè)界廣泛應(yīng)用在45nm及以下的成熟制程當中。ASML公司...
2023-04-18 12:39:37 -
EUV光刻機也賣不動了 臺積電40%訂單被砍
...光刻機也賣不動了,臺積電被曝砍單40%訂單。EUV光刻機是7nm以下工藝必不可少的核心設(shè)備,全球只有荷蘭ASML公司能夠生產(chǎn),售價高達10億,下一代EUV光刻機會更會漲價到2...
2023-04-18 12:33:37 -
別再只盯著光刻機了!自動化測試對于芯片制造同樣重要
...光刻機在芯片領(lǐng)域當然獨占鰲頭,但一顆芯片的成功不只取決于光刻部分,測試對芯片的質(zhì)量更有不容忽視的意義。不論是更小尺寸的芯片,還是時下火熱的chiplet方式的芯片,都對于芯片...
2023-04-12 16:06:19 -
ASML高端DUV光刻機可以出口:支持7nm
...光刻機,屬于193nm(光源)光刻機(分為干式和浸沒式),可以被用于16nm至7nm先進制程芯片的制造,但是目前也有被業(yè)界廣泛應(yīng)用在45nm及以下的成熟制程當中。ASML公司...
2023-03-10 11:13:26 -
ASML回應(yīng)荷蘭半導體出口管制新規(guī):涉及DUV光刻機
...光刻機巨頭阿斯麥(ASML)發(fā)布聲明表示,ASML預計必須申請許可證方可出口DUV設(shè)備。同時公司還表示“新的出口管制措施并不針對所有浸潤式光刻系統(tǒng),先進程度相對較低的浸潤式光...
2023-03-09 13:23:59 -
全球只有5家客戶 ASML今年將出貨60臺EUV光刻機
...光刻機的需求也不斷增長,目前全球只有ASML一家公司能夠生產(chǎn)EUV光刻機,今年的出貨量還會進一步提升。當然,EUV這樣的光刻機主要用于先進工藝,所以全球有需求也有能力購買EU...
2023-02-22 12:57:58 -
一場“國產(chǎn)光刻機”的奇葩說
...光刻機到底牛不?!钡霓q題,那到底會是怎樣的場景和結(jié)局.辯題背景:中科院光電所超分辨光刻裝備項目組經(jīng)過近7年艱苦攻關(guān),突破了多項關(guān)鍵技術(shù),完成國際上首臺分辨力最高的紫外超分辨光...
2022-12-29 15:22:37 -
生產(chǎn)最新12nm芯片,三星逆勢計劃新增10臺EUV光刻機
...光刻機,用于生產(chǎn)最新的12nm級內(nèi)存芯片。三星在韓國的內(nèi)存工廠主要是位于平澤市的晶圓廠,其中P3晶圓廠目前的產(chǎn)能是每月2萬片晶圓,三星已經(jīng)計劃擴大投資,增加內(nèi)存生產(chǎn)設(shè)備,將產(chǎn)...
2022-12-27 12:24:54 -
日本研發(fā)新一代光刻機,佳能3.6億美元東京建廠
...光刻機,還將用于增加納米壓印光刻(NIL)機的產(chǎn)量。計劃于2025年開始運營。KrF和i-line光刻是成熟的技術(shù),但它們?nèi)员粡V泛用于定義眾多IC類型、MEMS和平板顯示器。...
2022-12-13 11:21:50 -
高端市場要變天?佳能宣布發(fā)售新一代i線步進式光刻機
...光刻機新產(chǎn)品——i線步進式光刻機“FPA-5520iVLF2Option”。據(jù)了解,在半導體芯片的制造工藝中,光刻機負責“曝光”電路圖案。在曝光的一系列工藝中,在硅晶圓上制造...
2022-12-08 10:51:12 -
ASML新EUV光刻機驚人天價,年產(chǎn)能20臺左右
...光刻機high-NAEUV設(shè)備,而高NAEUV光刻機系統(tǒng)的單臺造價將在25億元(單臺造價在3億到3.5億歐元之間,約合人民幣21.95到25.61億元)。這個價格什么概念,資...
2022-11-28 11:02:15 -
首臺ASML光刻機搬入!中國再添一座12英寸車規(guī)級晶圓廠
...光刻機制造商阿斯麥(ASML)禁止向我國出售14nm及以下工藝的DUV光刻機,還一直試圖要求該公司禁止對華銷售部分舊款光刻機,以及所有制造芯片所需的主流技術(shù)。要知道,目前全球...
2022-11-28 09:32:34 -
禁止向中國出口光刻機!華盛頓談判施壓荷蘭,首相表態(tài)
...光刻機貿(mào)易就受到了一些限制,但近日華盛頓當局將從光刻機領(lǐng)域?qū)で髮θA的進一步技術(shù)封鎖。我們之前在《多次反對芯片制裁,ASML直接無視美國和中國合作》一文中介紹了目前ASML和中...
2022-11-07 12:03:47 -
俄羅斯放狠話:自研7nm光刻機將于2028年問世!
...光刻機將于2028年問世,不僅能夠生產(chǎn)出7nm芯片,還可以擊敗ASML同類產(chǎn)品”。根據(jù)俄羅斯下諾夫哥羅德策略發(fā)展機構(gòu)的一份公文顯示,該計劃將在6年內(nèi)分為三個階段實現(xiàn):●第一階...
2022-10-24 19:30:29 -
無需EUV光刻機 我國首條光子芯片產(chǎn)線明年建成:1000倍性能提升
...光刻機,比如EUV光刻機,因此是各國爭相發(fā)展的新一代信息科技。來自《北京日報》的消息,記者從中科鑫通獲悉,國內(nèi)首條“多材料、跨尺寸”的光子芯片生產(chǎn)線已...
2022-10-18 14:11:53 -
消費電子砍單潮,臺積電將關(guān)閉4臺EUV光刻機!臺積電:維護而已
...光刻機來減少產(chǎn)能。上周,產(chǎn)業(yè)鏈的消息人士@手機晶片達人就爆料稱,由于臺積電先進制程產(chǎn)能利用率開始下滑,且評估之后下滑時間會持續(xù)一段周期,因此,臺積電計劃從今年年底開始,將關(guān)閉...
2022-09-25 09:00:01 -
我國首獲納米級光雕刻三維結(jié)構(gòu):沒有EUV光刻機,一樣量產(chǎn)7nm芯片!
...光刻機,甚至還將魔抓伸向了華裔科學家。然而,面對這些“卡脖子”技術(shù)問題,中國不僅沒有選擇屈服,反而走出了一條自己獨特的發(fā)展之路。這不,剛剛國內(nèi)自主芯片產(chǎn)業(yè)就傳來一個好消息:9...
2022-09-16 16:39:03