三菱重工業(yè)向日本國(guó)內(nèi)MEMS的量產(chǎn)工廠交貨了可處理200mm晶圓的常溫底板粘合裝置。三菱重工表示，這是首次交貨全自動(dòng)200mm晶圓處理裝置?？捎糜?strong>元器件的晶圓級(jí)封裝、形成硅通孔的晶圓積層等。

日本國(guó)內(nèi)公布擁有可處理200mm晶圓工廠的MEMS廠商，有歐姆龍和大日本印刷。歐姆龍主要從事自制元件制造和MEMS代工服務(wù)，大日本印刷主 要從事MEMS代工服務(wù)。此外，在200mm晶圓工廠生產(chǎn)MEMS的企業(yè)還有多個(gè)，估計(jì)三菱重工此次常溫粘合裝置的交貨對(duì)象是上述兩公司以外的企業(yè)。

三菱重工的常溫底板粘合裝置的工作原理是，通過(guò)在真空條件下照射原子束，使要粘合的硅等材料的表面活化，并在室溫條件下粘合。消除了之前加熱及加壓粘 合時(shí)存在的問(wèn)題，即因熱而生的壓力及形變對(duì)元器件造成的影響，可實(shí)現(xiàn)更堅(jiān)固、可靠性更高的粘合。另外，該公司還強(qiáng)調(diào)，無(wú)需加熱及冷卻時(shí)間等，可降低元器件 的制造成本。（記者：加藤 伸一）