豐田汽車在“ICSCRM 2007”展會第一天的主題演講中,談到了對應(yīng)用于車載的SiC功率半導(dǎo)體的期待。為了在“本世紀(jì)10年代”將其嵌入到混合動力車等所采用的馬達(dá)控制用逆變器中,“希望業(yè)界廣泛提供合作”。如果能嵌入SiC半導(dǎo)體,將有助于逆變器大幅實現(xiàn)小型化及低成本化。
在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用是許多SiC半導(dǎo)體廠商瞄準(zhǔn)的目標(biāo),但多數(shù)看法認(rèn)為,就元器件的成本、性能及可靠性而言,比起在產(chǎn)業(yè)設(shè)備以及民用設(shè)備上配備,在汽車上配備的障礙更大。該公司雖然沒有透露計劃采用SiC半導(dǎo)體的日期,但表示“到本世紀(jì)10年代前期,如果開始在產(chǎn)業(yè)設(shè)備及民用設(shè)備上采用,那么,作為進(jìn)一步改善了成本及可靠性的下一個應(yīng)用領(lǐng)域,我們將會考慮在汽車上配備”(濱田),估計將目標(biāo)定在了2011~2012年以后。
作為車載設(shè)備專用SiC半導(dǎo)體的開發(fā)課題,該公司列舉了:SiC底板5英寸(約125mm)以上的大口徑化,常關(guān)(Normally Off)立式晶體管技術(shù),可耐高溫環(huán)境的封裝技術(shù)。
如果將集團(tuán)企業(yè)的研發(fā)成果也包括在內(nèi),那么,該公司就擁有涉及從SiC半導(dǎo)體晶體生成、到元器件及控制電路技術(shù)的多領(lǐng)域技術(shù)經(jīng)驗。作為實例,濱田介紹了借助將轉(zhuǎn)移缺陷密度比以前降低3~4位數(shù)的“RAF法”制作SiC底板的技術(shù),以及載體移動度高達(dá)244cm2/Vs的SiC-MOS FET等的開發(fā)成果。不過,“必要的開發(fā)工作,單靠本公司一家企業(yè)無法完成”,希望得到相關(guān)廠商的廣泛協(xié)助。
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