意法半導(dǎo)體擴(kuò)大MEMS產(chǎn)能 引領(lǐng)動(dòng)作感測(cè)新革命
意法半導(dǎo)體部門(mén)副總裁暨M(jìn)EMS、感測(cè)器和高性能類比產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示:「我們正引領(lǐng)著MEMS消費(fèi)性電子化革命,力求持續(xù)領(lǐng)導(dǎo)市場(chǎng)。我們不斷擴(kuò)大生產(chǎn)線的產(chǎn)能,推動(dòng)MEMS進(jìn)入高速成長(zhǎng)的市場(chǎng),如醫(yī)療保健、工業(yè)和汽車。意法半導(dǎo)體搶占了微機(jī)械感測(cè)器普及化的先機(jī)?!?br>
意法半導(dǎo)體于2006年成為全球首家以8吋晶圓生產(chǎn)MEMS感測(cè)器的廠商,大幅降低了產(chǎn)品的單位成本,推動(dòng)了現(xiàn)有MEMS應(yīng)用的成長(zhǎng)和新興MEMS市場(chǎng)的發(fā)展。意法半導(dǎo)體MEMS產(chǎn)品的主要制造基地,包括在義大利米蘭近郊的Agrate和卡塔尼亞(Catania)的感測(cè)器制造廠區(qū)、法國(guó)Rousset和Crolles的邏輯裸片制造廠區(qū),以及馬爾他Kirkop和菲律賓卡蘭巴(Calamba)的封裝測(cè)試廠區(qū)。
意法半導(dǎo)體MEMS感測(cè)器制造技術(shù)受益于其研發(fā)的業(yè)界領(lǐng)先制程。THELMA(Thick Epi-Poly Layer for Microactuators and Accelerometers;用于致動(dòng)器及加速度計(jì)的厚外延層)表面微機(jī)械加工制程被用于制造加速度計(jì)和陀螺儀,這項(xiàng)制程技術(shù)混合使用薄厚度不一的多矽層制造感測(cè)器! 的架構(gòu)和連接件,能夠在同一顆晶片上整合線性和角動(dòng)作機(jī)械元件,讓客戶能夠大幅降低產(chǎn)品的成本和尺寸。互補(bǔ)性VENSENS (Venice Sensor)制程可在單晶矽片內(nèi)整合氣腔,制造擁有絕佳尺寸和出色性能的微型壓力感測(cè)器。
大吞吐量的處理能力已成為MEMS廠商保持高成長(zhǎng)市場(chǎng)需求的艱鉅挑戰(zhàn)之一,同時(shí)也是取得市場(chǎng)成功的關(guān)鍵。意法半導(dǎo)體先進(jìn)的MEMS封裝測(cè)試平臺(tái)既能并行處理大量的感測(cè)器晶片,并可為每個(gè)晶片提供恒量且可重復(fù)的測(cè)試刺激訊號(hào),從而大幅提高生產(chǎn)線的整體產(chǎn)能。
意法半導(dǎo)體的MEMS感測(cè)器為智慧型手機(jī)、平板電腦、個(gè)人媒體播放器、游戲機(jī)、數(shù)位相機(jī)及遙控器等主流消費(fèi)性電子產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)動(dòng)作控制式用戶介面。意法半導(dǎo)體的加速度感測(cè)器并被電腦制= 商廣泛用于自由墜落檢測(cè),以保護(hù)筆記型電腦的硬碟驅(qū)動(dòng)器;汽車設(shè)備制造商則將意法半導(dǎo)體的MEMS感測(cè)器用于安全氣囊和導(dǎo)航系統(tǒng)。