[導讀]本報記者 陳 磊 賈 婧
創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展
賀榮明清楚地記得，11年前，當大部分專家、領導問他，中國自主研發(fā)光刻機有決心嗎？“有！”當時的回答并無一絲猶豫。“如今回想此事真有些后怕，那時候勇氣勝過理智。”
本報記者 陳 磊 賈 婧
創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展
賀榮明清楚地記得，11年前，當大部分專家、領導問他，中國自主研發(fā)光刻機有決心嗎？“有！”當時的回答并無一絲猶豫?！叭缃窕叵氪耸抡嬗行┖笈?，那時候勇氣勝過理智?！?br>
下決心創(chuàng)新，有時靠的是一種氣魄，而完成創(chuàng)新的過程則需要更多的冷靜和執(zhí)著。
光陰荏苒，刻鑄創(chuàng)新。在光刻機領域，中國幾乎從零出發(fā)，經(jīng)過十年砥礪，到現(xiàn)在已成為世界上少數(shù)掌握高端光刻機系統(tǒng)設計與系統(tǒng)集成測試技術的國家，并成功切入IC先進封裝、新型顯示等新技術產(chǎn)業(yè)領域。那么，在創(chuàng)新實踐中，政府和企業(yè)究竟應該扮演怎樣的角色？光刻機重大專項實施帶給我們什么啟示？
艱難決策：干還是不干，怎么干？
時光回溯到11年前，上海舉行的“十五”863計劃科技部重大專項討論會現(xiàn)場，來自全國各科研院所的專家正為一個項目爭論不休：技術方案有七八種之多，難度要跨好幾個臺階，投入以億元計算，風險之大難以評估……
這個讓大家勞神的項目就是光刻機。其實，在此之前，爭論的焦點是干不干？！
每顆芯片誕生之初，都要經(jīng)過光刻技術的鍛造。光刻機就像個以光為刃的鑄劍高手，將硅片從一粒頑石變?yōu)橹腔壑X，一閃之間，母版上復雜的電路設計圖形即轉(zhuǎn)化為硅片上細微繁密的溝壑紋理。誰掌握了這種利刃，就擁有了集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平的技術掌控權。各發(fā)達國家政府一直對相關戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)持續(xù)投入，爭取戰(zhàn)略競爭優(yōu)勢，在此領域，荷蘭、美國、日本早已虎踞龍盤。
早在1996年，我國意識到集成電路的重要性，部署了908工程、909工程，但對于光刻機，卻一直未敢觸碰，就如一張白紙，從何落筆？隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，科技部決定將此設立為“十五”科技重大專項。
科技部副部長曹健林清楚地記得，“當時上海市加上科技部的投入，如果拿到國際上，也許僅僅夠建一個超凈間”。
除了投入捉襟見肘，關鍵是我國從未有光刻機的實踐生產(chǎn)經(jīng)驗。如何研究制定切實可行的技術路線圖？經(jīng)過專家論證，國家從多條技術方案中選擇了193納米激光投影式光刻機，10年后的結果證明，選擇這條相對成熟的技術路線是正確的。
“對未來有帶動性的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)，政府一定要有決心、耐心和恒心，不能急于求成。決策不僅僅限于專家層面的技術論證，更是一種戰(zhàn)略判斷和眼光，需要拍板的勇氣，成敗皆有可能。”上海市科委主任壽子琪說，政府需要考察的是有沒有一個好的領頭人帶領創(chuàng)新團隊真心干事業(yè)，能不能圍繞核心技術形成產(chǎn)業(yè)技術體系。
項目落戶上海后，讓誰牽頭？這又是個尖銳的問題。國家02科技重大專項技術總師葉甜春是當時參與這場論證的專家之一，也全程參與和見證了光刻機攻關歷程。他回憶說：“科技部的思路很明確，研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化結合！一定要探索企業(yè)化的運作模式?！?br>
此前，尚無先例。我國雖也有科研院所承擔過相關項目，但僅止于實驗室的理論和技術，并未面向工業(yè)化大生產(chǎn)需求；之前部署都是單點研發(fā)，各單位自成體系，缺乏系統(tǒng)網(wǎng)絡的構建。因缺乏應用市場的錘煉，最終都不了了之。現(xiàn)在再搞光刻機，一定要以企業(yè)為主體構建產(chǎn)業(yè)鏈和創(chuàng)新鏈。
2002年3月，上海微電子裝備有限公司（以下簡稱“上微”）成立，賀榮明任總經(jīng)理。該公司作為一個綜合集成平臺承接項目，把產(chǎn)學研用資源匯聚起來。國家863計劃中，光刻機成為首個以企業(yè)為主導開展研究的項目。
2009年，光刻機是國家設立的16個科技重大專項之一—— “極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”的核心內(nèi)容。按照國家部署，上海作為光刻技術研發(fā)與設備研制的重要基地，承擔了推進實施02科技重大專項的具體工作。政府從光刻機、刻蝕機到高端設備、高端材料、先進制造工藝等關鍵領域和技術進行全面布局，并建立配套的產(chǎn)業(yè)化平臺。
“十年來，我面臨的最大困惑不是技術難題，解決它們只是時間問題。最難的是讓別人理解這個行業(yè)發(fā)展特征，技術風險，對此，企業(yè)和政府都有壓力?！?0出頭的賀榮明頭上已布滿銀絲，“這種項目不是立竿見影，考驗的是政府的戰(zhàn)略眼光。政府不是錦上添花，而是要敢啃硬骨頭。”
一方面，國家根據(jù)階段需求，以重大專項的方式支持裝備整機及分系統(tǒng)的研發(fā)項目，加強頂層設計和系統(tǒng)部署；另一方面，由企業(yè)主導提出創(chuàng)新需求，創(chuàng)新資源配置和創(chuàng)新活動圍繞企業(yè)目標開展。
集成創(chuàng)新：搶占產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈的高端
2002年春，在浦東張江春曉路一棟租來的3層小樓里，工號為001的賀榮明帶著9位來報到的“戰(zhàn)友”開始了艱難的創(chuàng)業(yè)之路。
猶如世界上沒有兩片相同的葉子，同樣，也沒有兩臺一模一樣的光刻機。每臺光刻機，都有自己獨一無二的“光刻指紋”。賀榮明和他的戰(zhàn)友就是要生產(chǎn)中國自己的光刻機。
光刻機就像一臺精密復雜的特殊照相機，是芯片制造中“定義圖形”中最為重要的一種機器。高端光刻機集精密光學、機械、控制、材料等先進科技和工程技術于一體，是集成電路裝備中技術難度最高、價格最昂貴的關鍵設備，被稱為人類技術發(fā)展的制高點和制造工業(yè)“皇冠上的明珠”。
“光刻機的水平?jīng)Q定著集成電路的發(fā)展水平，它在IC制造設備的價值鏈中占30%—40%?！鄙衔⒖偨?jīng)理辦公室主任賀躍進介紹，光刻機的主要難點聚焦在準分子光源、光學系統(tǒng)和超精密運動高速工作臺。
一臺光刻機有上萬個零部件要在電腦程序的控制下進行復雜協(xié)調(diào)的聯(lián)動，其運動精準程度的誤差不得超過一根頭發(fā)絲的千分之一，這無異于在頭發(fā)上“繡花”！打個通俗的比喻，就如同坐在一架超音速飛行的飛機上，拿著線頭穿進另一架飛行飛機上的針孔。
企業(yè)成立之初，賀榮明到國外談合作，有人把他當成皮包公司，因為當時連廠房都沒有。有次，賀榮明去德國談技術合作。對方倒是彬彬有禮，但對合作毫無興趣。眼光里投射出來的是：“瘋了，中國人也要做光刻機？”日耳曼工程師一臉嚴肅地撂下一句話：“就是給全套圖紙，你們也做不出來！”
十年過去了。樣機試驗成功，研發(fā)項目驗收，關鍵技術輻射的商用機型下線，實現(xiàn)國內(nèi)外銷售，中國人一步一個腳印又一次把天方夜譚變成了現(xiàn)實。
奧妙何在？
在上微，沒有“裝配”二字，只有“集成”。對此，賀榮明頗有心得：“集成創(chuàng)新，就是由我設計，然后利用全球技術為我所用，最后還由我調(diào)控。在技術基礎薄弱和國外封鎖的情況下，用好的管理和組織方式，照樣可以掌握復雜的技術系統(tǒng)?！盵!--empirenews.page--]
“光刻機是逼出來的?！眽圩隅髡f，“從光刻機重大專項的實施，我們的體會是，要有開放的姿態(tài)，同時要有客觀認識自我的心態(tài)?！?上海當時承接此項目，既有結構轉(zhuǎn)型、創(chuàng)新驅(qū)動的內(nèi)在動力，同時在實施過程中也秉承著開放創(chuàng)新和實事求是的原則。
同時，“集成”在微觀層面也極具操作難度。
上微有個集成工程部，它的職責就是把關設備，把一個個小的系統(tǒng)集成成光刻機?！拔覀兗仁乔颁h又是守門員。前鋒是要把產(chǎn)品性能調(diào)到最佳提供給客戶，守門員就是堵住這樣那樣的問題?！鄙衔⒓晒こ滩棵搅纸?jīng)理說，“我們面臨最大的困難就是沒有任何集成的經(jīng)驗借鑒，只能靠經(jīng)驗積累和摸索?！?br>
光刻機就好像一個人，一個個子系統(tǒng)就如同人體的各種器官。首先，要有總體框架，每個“器官”大小尺寸必須系統(tǒng)設計，否則五花八門，大小不一，不合規(guī)范。其次，即使各個單位制造的“器官”都符合指標要求，但一裝到系統(tǒng)就常常出現(xiàn)問題，這里還存在很多復雜因素。其中的集成經(jīng)驗要通過大量的工程演練才能形成。就如同人經(jīng)常會發(fā)燒生病，有先天體質(zhì)原因，這就是光刻機的性能指標；也有后天因素，這就要靠“醫(yī)生”也就是集成部門去診斷，技術人員不僅要“驗血檢查”，還要告訴供應商真正的病根。
比如說，今天天氣和溫度變了，空氣壓力變了，設備的對焦就不準確了?！斑@需要我們仿真模擬，研究空氣對哪些部件有影響”，毛方林說，“以前我們曾遇到一個問題，百思不得其解，花費一個月才解決。任何集成都是創(chuàng)新，在這個過程中我們經(jīng)常遇到死胡同，往往是絕地反擊，起死回生。”
從零出發(fā)，10年后，上微成為世界上繼歐洲和日本3家公司之后的少數(shù)掌握了高端光刻機的系統(tǒng)設計與系統(tǒng)集成測試技術的高科技公司。90nm光刻機產(chǎn)品的研制和開發(fā)還在潛心前行。
“到現(xiàn)在，我們考慮的不是能否裝一臺光刻機，而是在于用多長時間裝出來，關注的是集成的數(shù)量和效率，關注用戶的需求、可操作性和可維護性等等。”毛方林說，以前一臺先進封裝光刻機設備要幾年集成，后來是幾個月集成，現(xiàn)在批量設備是一個月集成。
“從制造型國家到創(chuàng)新型國家轉(zhuǎn)型，就必須實現(xiàn)能級的躍遷，搶占產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈的高端?！辟R榮明說。
產(chǎn)業(yè)輻射：沿途下蛋與自我造血
2013年8月，在充分進行工藝測試的基礎上，上微首臺用于2.5代生產(chǎn)線的新型顯示光刻機正式上線昆山的一家企業(yè)。
光刻機之所以被稱為戰(zhàn)略產(chǎn)品，除了技術難度高，還在于對相關核心高端制造領域有強大的產(chǎn)業(yè)輻射能力。上微就在新型顯示產(chǎn)業(yè)開拓了一片新的疆土。
2008年底，上微敏銳地注意到，光刻機技術在OLED產(chǎn)業(yè)中將大有作為，決定啃下這塊硬骨頭。然而，開發(fā)新型OLED TFT光刻機單打獨斗不可行。通過了解，上海大學“新型顯示技術與應用集成教育部重點實驗室”在新型OLED器件工藝研究方面做了很多探索，他們希望擁有先進設備進一步提升新工藝研發(fā)水平。
于是，雙方一拍即合，迅速展開聯(lián)合技術攻關。2009年，200×200新型顯示光刻機的研制立為上海市科技攻關的重點項目。
2010年，SSB200/10 OLED研發(fā)光刻機生產(chǎn)出自主知識產(chǎn)權的1.6英寸OLED顯示屏，將國產(chǎn)光刻設備用于平板顯示領域，在國內(nèi)實現(xiàn)零的突破。
同時這唯一的國產(chǎn)設備，也串起了上海大學已有的工藝生產(chǎn)線，使之為更多的國內(nèi)企業(yè)提供OLED產(chǎn)線流片的工藝測試。更重要的是，在合作中，上微還收獲了友誼和信任——國內(nèi)4家新型顯示領域的老大，都與上微開展了合作。
在重大專項的實施過程中，還成立了產(chǎn)業(yè)技術聯(lián)盟，加強協(xié)同創(chuàng)新?！坝善髽I(yè)提出創(chuàng)新目標，然后分解任務、配置資源，最后集成并修正任務。不僅體現(xiàn)了企業(yè)技術創(chuàng)新的主體地位，更能提高企業(yè)創(chuàng)新的管理能力?！眽圩隅髡f。
上微將IC制造的光刻機技術衍生到其他領域，開發(fā)了如激光封裝、激光退火等設備。公司將此類產(chǎn)品比喻為“類光刻機”，即將光刻技術用于其他新興產(chǎn)業(yè)領域的工藝、開發(fā)相關設備，具有極大的產(chǎn)業(yè)應用價值。
研制光刻機過程中有個奇特的現(xiàn)象，那就是企業(yè)在完成國家戰(zhàn)略任務的同時，基于市場需求和自身發(fā)展，通過自主創(chuàng)新，及時把關鍵技術輻射到相關領域，將階段性成果轉(zhuǎn)化為市場應用性項目，實現(xiàn)企業(yè)的自我造血。大家形象地稱作這一產(chǎn)業(yè)化的過程為“沿途下蛋”。
除了新型顯示領域，上微早在2004年開始探索先進封裝光刻機的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展之路。2012年，上微的封裝光刻機走進了先進封裝的重鎮(zhèn)——臺灣，更引起同行業(yè)競爭者的重視，逼著他們降低售價并效法改進設備性能。目前，上微已占據(jù)國內(nèi)先進封裝光刻機市場的80%，并迫使競爭對手降低產(chǎn)品價格1/3，動了國際先進封裝設備市場的奶酪。
賀榮明將曾經(jīng)崛起的我國女排戰(zhàn)術——“高舉高打，平拉開”應用于企業(yè)戰(zhàn)略：技術高端切入，逼近世界水平，追高度；市場中端介入，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，求寬度；拓展應用領域，伴隨客戶成長，筑厚度。
以光刻機為抓手，部件服從整機牽引，通過產(chǎn)品工程牽起責任鏈，并圍繞產(chǎn)業(yè)鏈串聯(lián)起工藝、材料、軟件等創(chuàng)新鏈。這就是上微的成功之道。
以國家戰(zhàn)略需求為導向，政府大膽決策，穩(wěn)定支持，以企業(yè)為紐帶，聚合產(chǎn)學研用創(chuàng)新資源，讓市場成為配置科技資源的決定性力量，讓企業(yè)成為技術創(chuàng)新的“主角”。這就是重大專項在光刻機研制中的創(chuàng)新實踐。
“光刻機在國外有30多年的歷史，我們搶跑用了10年，2002年我國與國際光刻機先進水平相差20年，現(xiàn)在差距已大為縮小。我們漸漸找到了感覺與方法，相信我們的加速度是越來越高的?！辟R榮明有自己的中國夢，一是做出中國自己的光刻機，讓全世界尊重中國的科技；二是為中國打造優(yōu)秀創(chuàng)新團隊?，F(xiàn)在，夢想正照進現(xiàn)實。
創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展
賀榮明清楚地記得，11年前，當大部分專家、領導問他，中國自主研發(fā)光刻機有決心嗎？“有！”當時的回答并無一絲猶豫?！叭缃窕叵氪耸抡嬗行┖笈?，那時候勇氣勝過理智?！?br>
下決心創(chuàng)新，有時靠的是一種氣魄，而完成創(chuàng)新的過程則需要更多的冷靜和執(zhí)著。
光陰荏苒，刻鑄創(chuàng)新。在光刻機領域，中國幾乎從零出發(fā)，經(jīng)過十年砥礪，到現(xiàn)在已成為世界上少數(shù)掌握高端光刻機系統(tǒng)設計與系統(tǒng)集成測試技術的國家，并成功切入IC先進封裝、新型顯示等新技術產(chǎn)業(yè)領域。那么，在創(chuàng)新實踐中，政府和企業(yè)究竟應該扮演怎樣的角色？光刻機重大專項實施帶給我們什么啟示？
艱難決策：干還是不干，怎么干？
時光回溯到11年前，上海舉行的“十五”863計劃科技部重大專項討論會現(xiàn)場，來自全國各科研院所的專家正為一個項目爭論不休：技術方案有七八種之多，難度要跨好幾個臺階，投入以億元計算，風險之大難以評估……
這個讓大家勞神的項目就是光刻機。其實，在此之前，爭論的焦點是干不干？！
每顆芯片誕生之初，都要經(jīng)過光刻技術的鍛造。光刻機就像個以光為刃的鑄劍高手，將硅片從一粒頑石變?yōu)橹腔壑X，一閃之間，母版上復雜的電路設計圖形即轉(zhuǎn)化為硅片上細微繁密的溝壑紋理。誰掌握了這種利刃，就擁有了集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展水平的技術掌控權。各發(fā)達國家政府一直對相關戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)持續(xù)投入，爭取戰(zhàn)略競爭優(yōu)勢，在此領域，荷蘭、美國、日本早已虎踞龍盤。
早在1996年，我國意識到集成電路的重要性，部署了908工程、909工程，但對于光刻機，卻一直未敢觸碰，就如一張白紙，從何落筆？隨著國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，科技部決定將此設立為“十五”科技重大專項。
科技部副部長曹健林清楚地記得，“當時上海市加上科技部的投入，如果拿到國際上，也許僅僅夠建一個超凈間”。
除了投入捉襟見肘，關鍵是我國從未有光刻機的實踐生產(chǎn)經(jīng)驗。如何研究制定切實可行的技術路線圖？經(jīng)過專家論證，國家從多條技術方案中選擇了193納米激光投影式光刻機，10年后的結果證明，選擇這條相對成熟的技術路線是正確的。
“對未來有帶動性的戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)，政府一定要有決心、耐心和恒心，不能急于求成。決策不僅僅限于專家層面的技術論證，更是一種戰(zhàn)略判斷和眼光，需要拍板的勇氣，成敗皆有可能。”上海市科委主任壽子琪說，政府需要考察的是有沒有一個好的領頭人帶領創(chuàng)新團隊真心干事業(yè)，能不能圍繞核心技術形成產(chǎn)業(yè)技術體系。
項目落戶上海后，讓誰牽頭？這又是個尖銳的問題。國家02科技重大專項技術總師葉甜春是當時參與這場論證的專家之一，也全程參與和見證了光刻機攻關歷程。他回憶說：“科技部的思路很明確，研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化結合！一定要探索企業(yè)化的運作模式?！?br>
此前，尚無先例。我國雖也有科研院所承擔過相關項目，但僅止于實驗室的理論和技術，并未面向工業(yè)化大生產(chǎn)需求；之前部署都是單點研發(fā)，各單位自成體系，缺乏系統(tǒng)網(wǎng)絡的構建。因缺乏應用市場的錘煉，最終都不了了之。現(xiàn)在再搞光刻機，一定要以企業(yè)為主體構建產(chǎn)業(yè)鏈和創(chuàng)新鏈。
2002年3月，上海微電子裝備有限公司（以下簡稱“上微”）成立，賀榮明任總經(jīng)理。該公司作為一個綜合集成平臺承接項目，把產(chǎn)學研用資源匯聚起來。國家863計劃中，光刻機成為首個以企業(yè)為主導開展研究的項目。
2009年，光刻機是國家設立的16個科技重大專項之一—— “極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項”的核心內(nèi)容。按照國家部署，上海作為光刻技術研發(fā)與設備研制的重要基地，承擔了推進實施02科技重大專項的具體工作。政府從光刻機、刻蝕機到高端設備、高端材料、先進制造工藝等關鍵領域和技術進行全面布局，并建立配套的產(chǎn)業(yè)化平臺。
“十年來，我面臨的最大困惑不是技術難題，解決它們只是時間問題。最難的是讓別人理解這個行業(yè)發(fā)展特征，技術風險，對此，企業(yè)和政府都有壓力?！?0出頭的賀榮明頭上已布滿銀絲，“這種項目不是立竿見影，考驗的是政府的戰(zhàn)略眼光。政府不是錦上添花，而是要敢啃硬骨頭。”
一方面，國家根據(jù)階段需求，以重大專項的方式支持裝備整機及分系統(tǒng)的研發(fā)項目，加強頂層設計和系統(tǒng)部署；另一方面，由企業(yè)主導提出創(chuàng)新需求，創(chuàng)新資源配置和創(chuàng)新活動圍繞企業(yè)目標開展。
集成創(chuàng)新：搶占產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈的高端
2002年春，在浦東張江春曉路一棟租來的3層小樓里，工號為001的賀榮明帶著9位來報到的“戰(zhàn)友”開始了艱難的創(chuàng)業(yè)之路。
猶如世界上沒有兩片相同的葉子，同樣，也沒有兩臺一模一樣的光刻機。每臺光刻機，都有自己獨一無二的“光刻指紋”。賀榮明和他的戰(zhàn)友就是要生產(chǎn)中國自己的光刻機。
光刻機就像一臺精密復雜的特殊照相機，是芯片制造中“定義圖形”中最為重要的一種機器。高端光刻機集精密光學、機械、控制、材料等先進科技和工程技術于一體，是集成電路裝備中技術難度最高、價格最昂貴的關鍵設備，被稱為人類技術發(fā)展的制高點和制造工業(yè)“皇冠上的明珠”。
“光刻機的水平?jīng)Q定著集成電路的發(fā)展水平，它在IC制造設備的價值鏈中占30%—40%?！鄙衔⒖偨?jīng)理辦公室主任賀躍進介紹，光刻機的主要難點聚焦在準分子光源、光學系統(tǒng)和超精密運動高速工作臺。
一臺光刻機有上萬個零部件要在電腦程序的控制下進行復雜協(xié)調(diào)的聯(lián)動，其運動精準程度的誤差不得超過一根頭發(fā)絲的千分之一，這無異于在頭發(fā)上“繡花”！打個通俗的比喻，就如同坐在一架超音速飛行的飛機上，拿著線頭穿進另一架飛行飛機上的針孔。
企業(yè)成立之初，賀榮明到國外談合作，有人把他當成皮包公司，因為當時連廠房都沒有。有次，賀榮明去德國談技術合作。對方倒是彬彬有禮，但對合作毫無興趣。眼光里投射出來的是：“瘋了，中國人也要做光刻機？”日耳曼工程師一臉嚴肅地撂下一句話：“就是給全套圖紙，你們也做不出來！”
十年過去了。樣機試驗成功，研發(fā)項目驗收，關鍵技術輻射的商用機型下線，實現(xiàn)國內(nèi)外銷售，中國人一步一個腳印又一次把天方夜譚變成了現(xiàn)實。
奧妙何在？
在上微，沒有“裝配”二字，只有“集成”。對此，賀榮明頗有心得：“集成創(chuàng)新，就是由我設計，然后利用全球技術為我所用，最后還由我調(diào)控。在技術基礎薄弱和國外封鎖的情況下，用好的管理和組織方式，照樣可以掌握復雜的技術系統(tǒng)?！盵!--empirenews.page--]
“光刻機是逼出來的?！眽圩隅髡f，“從光刻機重大專項的實施，我們的體會是，要有開放的姿態(tài)，同時要有客觀認識自我的心態(tài)?！?上海當時承接此項目，既有結構轉(zhuǎn)型、創(chuàng)新驅(qū)動的內(nèi)在動力，同時在實施過程中也秉承著開放創(chuàng)新和實事求是的原則。
同時，“集成”在微觀層面也極具操作難度。
上微有個集成工程部，它的職責就是把關設備，把一個個小的系統(tǒng)集成成光刻機?！拔覀兗仁乔颁h又是守門員。前鋒是要把產(chǎn)品性能調(diào)到最佳提供給客戶，守門員就是堵住這樣那樣的問題?！鄙衔⒓晒こ滩棵搅纸?jīng)理說，“我們面臨最大的困難就是沒有任何集成的經(jīng)驗借鑒，只能靠經(jīng)驗積累和摸索?！?br>
光刻機就好像一個人，一個個子系統(tǒng)就如同人體的各種器官。首先，要有總體框架，每個“器官”大小尺寸必須系統(tǒng)設計，否則五花八門，大小不一，不合規(guī)范。其次，即使各個單位制造的“器官”都符合指標要求，但一裝到系統(tǒng)就常常出現(xiàn)問題，這里還存在很多復雜因素。其中的集成經(jīng)驗要通過大量的工程演練才能形成。就如同人經(jīng)常會發(fā)燒生病，有先天體質(zhì)原因，這就是光刻機的性能指標；也有后天因素，這就要靠“醫(yī)生”也就是集成部門去診斷，技術人員不僅要“驗血檢查”，還要告訴供應商真正的病根。
比如說，今天天氣和溫度變了，空氣壓力變了，設備的對焦就不準確了?！斑@需要我們仿真模擬，研究空氣對哪些部件有影響”，毛方林說，“以前我們曾遇到一個問題，百思不得其解，花費一個月才解決。任何集成都是創(chuàng)新，在這個過程中我們經(jīng)常遇到死胡同，往往是絕地反擊，起死回生。”
從零出發(fā)，10年后，上微成為世界上繼歐洲和日本3家公司之后的少數(shù)掌握了高端光刻機的系統(tǒng)設計與系統(tǒng)集成測試技術的高科技公司。90nm光刻機產(chǎn)品的研制和開發(fā)還在潛心前行。
“到現(xiàn)在，我們考慮的不是能否裝一臺光刻機，而是在于用多長時間裝出來，關注的是集成的數(shù)量和效率，關注用戶的需求、可操作性和可維護性等等。”毛方林說，以前一臺先進封裝光刻機設備要幾年集成，后來是幾個月集成，現(xiàn)在批量設備是一個月集成。
“從制造型國家到創(chuàng)新型國家轉(zhuǎn)型，就必須實現(xiàn)能級的躍遷，搶占產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈的高端?！辟R榮明說。
產(chǎn)業(yè)輻射：沿途下蛋與自我造血
2013年8月，在充分進行工藝測試的基礎上，上微首臺用于2.5代生產(chǎn)線的新型顯示光刻機正式上線昆山的一家企業(yè)。
光刻機之所以被稱為戰(zhàn)略產(chǎn)品，除了技術難度高，還在于對相關核心高端制造領域有強大的產(chǎn)業(yè)輻射能力。上微就在新型顯示產(chǎn)業(yè)開拓了一片新的疆土。
2008年底，上微敏銳地注意到，光刻機技術在OLED產(chǎn)業(yè)中將大有作為，決定啃下這塊硬骨頭。然而，開發(fā)新型OLED TFT光刻機單打獨斗不可行。通過了解，上海大學“新型顯示技術與應用集成教育部重點實驗室”在新型OLED器件工藝研究方面做了很多探索，他們希望擁有先進設備進一步提升新工藝研發(fā)水平。
于是，雙方一拍即合，迅速展開聯(lián)合技術攻關。2009年，200×200新型顯示光刻機的研制立為上海市科技攻關的重點項目。
2010年，SSB200/10 OLED研發(fā)光刻機生產(chǎn)出自主知識產(chǎn)權的1.6英寸OLED顯示屏，將國產(chǎn)光刻設備用于平板顯示領域，在國內(nèi)實現(xiàn)零的突破。
同時這唯一的國產(chǎn)設備，也串起了上海大學已有的工藝生產(chǎn)線，使之為更多的國內(nèi)企業(yè)提供OLED產(chǎn)線流片的工藝測試。更重要的是，在合作中，上微還收獲了友誼和信任——國內(nèi)4家新型顯示領域的老大，都與上微開展了合作。
在重大專項的實施過程中，還成立了產(chǎn)業(yè)技術聯(lián)盟，加強協(xié)同創(chuàng)新?！坝善髽I(yè)提出創(chuàng)新目標，然后分解任務、配置資源，最后集成并修正任務。不僅體現(xiàn)了企業(yè)技術創(chuàng)新的主體地位，更能提高企業(yè)創(chuàng)新的管理能力?！眽圩隅髡f。
上微將IC制造的光刻機技術衍生到其他領域，開發(fā)了如激光封裝、激光退火等設備。公司將此類產(chǎn)品比喻為“類光刻機”，即將光刻技術用于其他新興產(chǎn)業(yè)領域的工藝、開發(fā)相關設備，具有極大的產(chǎn)業(yè)應用價值。
研制光刻機過程中有個奇特的現(xiàn)象，那就是企業(yè)在完成國家戰(zhàn)略任務的同時，基于市場需求和自身發(fā)展，通過自主創(chuàng)新，及時把關鍵技術輻射到相關領域，將階段性成果轉(zhuǎn)化為市場應用性項目，實現(xiàn)企業(yè)的自我造血。大家形象地稱作這一產(chǎn)業(yè)化的過程為“沿途下蛋”。
除了新型顯示領域，上微早在2004年開始探索先進封裝光刻機的產(chǎn)業(yè)化發(fā)展之路。2012年，上微的封裝光刻機走進了先進封裝的重鎮(zhèn)——臺灣，更引起同行業(yè)競爭者的重視，逼著他們降低售價并效法改進設備性能。目前，上微已占據(jù)國內(nèi)先進封裝光刻機市場的80%，并迫使競爭對手降低產(chǎn)品價格1/3，動了國際先進封裝設備市場的奶酪。
賀榮明將曾經(jīng)崛起的我國女排戰(zhàn)術——“高舉高打，平拉開”應用于企業(yè)戰(zhàn)略：技術高端切入，逼近世界水平，追高度；市場中端介入，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模，求寬度；拓展應用領域，伴隨客戶成長，筑厚度。
以光刻機為抓手，部件服從整機牽引，通過產(chǎn)品工程牽起責任鏈，并圍繞產(chǎn)業(yè)鏈串聯(lián)起工藝、材料、軟件等創(chuàng)新鏈。這就是上微的成功之道。
以國家戰(zhàn)略需求為導向，政府大膽決策，穩(wěn)定支持，以企業(yè)為紐帶，聚合產(chǎn)學研用創(chuàng)新資源，讓市場成為配置科技資源的決定性力量，讓企業(yè)成為技術創(chuàng)新的“主角”。這就是重大專項在光刻機研制中的創(chuàng)新實踐。
“光刻機在國外有30多年的歷史，我們搶跑用了10年，2002年我國與國際光刻機先進水平相差20年，現(xiàn)在差距已大為縮小。我們漸漸找到了感覺與方法，相信我們的加速度是越來越高的?！辟R榮明有自己的中國夢，一是做出中國自己的光刻機，讓全世界尊重中國的科技；二是為中國打造優(yōu)秀創(chuàng)新團隊?，F(xiàn)在，夢想正照進現(xiàn)實。
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