臺積電表示,該公司將針對 20奈米以下半導體制程相關技術進行合作研發(fā),包括超紫外光(EUV)微影、3D導線、度量衡技術,以及創(chuàng)新材料、元件結構等等,也將開發(fā)下一代半導體制造技術所需的關鍵基礎建設,包括轉向 18寸晶圓技術。
Sematech 其他核心成員包括 GlobalFoundries 、惠普(HP)、IBM、英特爾(Intel)、三星(Samsung)、聯(lián)電(UMC),以及位于美國紐約州Albany的奈米科技與工程技術學院(College of Nanoscale Science and Engineering,CNSE)。
“這個互補性的合作案,將利用Sematech 的聯(lián)盟方案,以及臺積電身為先進技術研發(fā)與半導體制造的產業(yè)領先地位,引領關鍵的產業(yè)技術演進;”臺積電技術長孫元成(Jack Sun)在一份聲明中表示。
Sematech總裁暨執(zhí)行長Dan Armbrust 則表示:“臺積電將會是加速研發(fā)創(chuàng)新與先進半導體制造技術開發(fā)的重要夥伴?!?/p>
編譯:Judith Cheng
(參考原文: TSMC joins Sematech, cites 450-mm R&D,by Peter Clarke)