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這項(xiàng)設(shè)備將安裝于臺(tái)積電的超大晶圓廠——臺(tái)積十二廠,用以發(fā)展新世代的工藝技術(shù)。臺(tái)積電也將成為全球第一個(gè)可以在自身晶圓廠發(fā)展超紫外光微影技術(shù)的專(zhuān)業(yè)集成電路制造服務(wù)業(yè)者。
【IT商業(yè)新聞網(wǎng)訊】(記者 周元英)2010年2月22日,臺(tái)積電與荷蘭ASML公司共同宣布,前者將取得后者的超紫外光微影設(shè)備,是全球六個(gè)取得這項(xiàng)設(shè)備的客戶(hù)伙伴之一。
這項(xiàng)設(shè)備將安裝于臺(tái)積電的超大晶圓廠——臺(tái)積十二廠,用以發(fā)展新世代的工藝技術(shù)。臺(tái)積電也將成為全球第一個(gè)可以在自身晶圓廠發(fā)展超紫外光微影技術(shù)的專(zhuān)業(yè)集成電路制造服務(wù)業(yè)者。
相較于現(xiàn)行浸潤(rùn)式微影技術(shù)以193納米波長(zhǎng)當(dāng)作光源,超紫外光微影技術(shù)導(dǎo)入更短波長(zhǎng)的光源,將有機(jī)會(huì)降低生產(chǎn)成本,而成為集成電路制造更先進(jìn)技術(shù)世代一個(gè)有潛力的選擇。TSMC目前正在對(duì)超紫外光及其他微影技術(shù)的最佳成本效益的潛力進(jìn)行評(píng)估。
臺(tái)積電研究發(fā)展資深副總經(jīng)理蔣尚義博士表示:經(jīng)由ASML和其他公司,歐洲半導(dǎo)體業(yè)將在臺(tái)積電未來(lái)工藝技術(shù)的發(fā)展上,繼續(xù)扮演重要的角色。
ASML公司執(zhí)行副總裁暨產(chǎn)品及技術(shù)長(zhǎng)Martin van den Brink表示:ASML已經(jīng)為邏輯、動(dòng)態(tài)隨機(jī)存取記憶體、NAND快閃記憶體及專(zhuān)業(yè)集成電路制造服務(wù)等芯片制造的主要領(lǐng)域提供超紫外光設(shè)備。據(jù)業(yè)內(nèi)消息,昨天半導(dǎo)體光刻機(jī)供應(yīng)商荷蘭ASML公司發(fā)布了今年Q3季度的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù), 其中銷(xiāo)售額和利潤(rùn)均好于預(yù)期,凈預(yù)訂數(shù)據(jù)更是創(chuàng)新紀(jì)錄。
關(guān)鍵字: ASML據(jù)業(yè)內(nèi)信息,近日一家名為Daedalus Prime的小公司陸續(xù)對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體巨頭發(fā)起337專(zhuān)利訟訴,其中包含三星電子、高通公司、臺(tái)積電等。
關(guān)鍵字: 專(zhuān)利侵權(quán) 三星 臺(tái)積電 高通公司 337調(diào)查 USITC據(jù)彭博社2月9日的消息,荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)警告稱(chēng),一家此前被指控竊取其商業(yè)機(jī)密的中國(guó)公司的關(guān)聯(lián)公司已開(kāi)始銷(xiāo)售疑似侵犯其知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。
關(guān)鍵字: ASML 光刻機(jī) 知識(shí)產(chǎn)權(quán)