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8寸晶圓顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)在北京誕生

時(shí)間：2009-06-01 08:33:34

關(guān)鍵字：顯微鏡晶圓傳感器 LOADER

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[導(dǎo)讀]日前，8寸晶圓顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)經(jīng)6個(gè)月的研發(fā)，在北京自動(dòng)化技術(shù)研究院大興工業(yè)基地誕生，這是繼大氣型硅片專(zhuān)用機(jī)械手和wafer loader后的又一款新型機(jī)械手。這項(xiàng)技術(shù)完全由自動(dòng)化院自主研發(fā)、自行生產(chǎn)。整個(gè)系統(tǒng)由傳輸

日前，8寸晶圓顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)經(jīng)6個(gè)月的研發(fā)，在北京自動(dòng)化技術(shù)研究院大興工業(yè)基地誕生，這是繼大氣型硅片專(zhuān)用機(jī)械手和wafer loader后的又一款新型機(jī)械手。這項(xiàng)技術(shù)完全由自動(dòng)化院自主研發(fā)、自行生產(chǎn)。整個(gè)系統(tǒng)由傳輸裝置、宏觀(guān)檢查裝置和顯微放大裝置組成，內(nèi)部系統(tǒng)則是由第三代控制軟件來(lái)實(shí)現(xiàn)。

8寸晶圓顯微鏡檢測(cè)系統(tǒng)通過(guò)機(jī)械手將晶圓從片盒取出放在真空吸附托盤(pán)上，通過(guò)鼠標(biāo)或操作按鍵改變晶圓的轉(zhuǎn)向以初步檢查。顯微鏡平臺(tái)可進(jìn)行精密檢測(cè)，能夠觀(guān)察晶圓微觀(guān)的顆粒，劃傷，污染等情況。這種機(jī)械手采用了直線(xiàn)型真空吸附結(jié)構(gòu)，靈活可靠，顯微鏡平臺(tái)能夠提供40-1000倍的觀(guān)察效果。它還可以提供多種靈活多變的晶圓檢測(cè)模式，包含以下檢測(cè)內(nèi)容：晶圓ID、晶圓notch的方向、晶圓旋轉(zhuǎn)角度及速度、晶圓微觀(guān)的晶格等，并能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)監(jiān)控。

在整個(gè)研發(fā)過(guò)程中，機(jī)械設(shè)計(jì)、軟件設(shè)計(jì)、電路設(shè)計(jì)和氣路設(shè)計(jì)都作了進(jìn)一步的改進(jìn)和優(yōu)化。其中在軟件部分，實(shí)現(xiàn)了模塊化和標(biāo)準(zhǔn)化的應(yīng)用，在設(shè)備斷電或操作不當(dāng)?shù)仍虺霈F(xiàn)設(shè)備故障時(shí)，調(diào)試人員也可以在最短時(shí)間內(nèi)將它恢復(fù)。在第3代軟件版本中，改善了人機(jī)交互界面，使得操作者可以在友好的

界面中易于操作，交互便捷，同時(shí)也保證了設(shè)備運(yùn)行的安全和穩(wěn)定。在電子電路設(shè)計(jì)方面主要控制了電機(jī)和傳感器反饋給板卡的信號(hào)，使得信息既可以接受也可以反饋，形成閉環(huán)。其中在機(jī)械手的危險(xiǎn)位置設(shè)置傳感器，是為了避免它發(fā)生碰撞和危險(xiǎn)動(dòng)作。

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