8寸晶圓顯微鏡檢測系統(tǒng)通過機(jī)械手將晶圓從片盒取出放在真空吸附托盤上，通過鼠標(biāo)或操作按鍵改變晶圓的轉(zhuǎn)向以初步檢查。顯微鏡平臺可進(jìn)行精密檢測，能夠觀察晶圓微觀的顆粒，劃傷，污染等情況。這種機(jī)械手采用了直線型真空吸附結(jié)構(gòu)，靈活可靠，顯微鏡平臺能夠提供40-1000倍的觀察效果。它還可以提供多種靈活多變的晶圓檢測模式，包含以下檢測內(nèi)容：晶圓ID、晶圓notch的方向、晶圓旋轉(zhuǎn)角度及速度、晶圓微觀的晶格等，并能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)監(jiān)控。

在整個研發(fā)過程中，機(jī)械設(shè)計、軟件設(shè)計、電路設(shè)計和氣路設(shè)計都作了進(jìn)一步的改進(jìn)和優(yōu)化。其中在軟件部分，實現(xiàn)了模塊化和標(biāo)準(zhǔn)化的應(yīng)用，在設(shè)備斷電或操作不當(dāng)?shù)仍虺霈F(xiàn)設(shè)備故障時，調(diào)試人員也可以在最短時間內(nèi)將它恢復(fù)。在第3代軟件版本中，改善了人機(jī)交互界面，使得操作者可以在友好的