[導(dǎo)讀]Imec聯(lián)合合作伙伴發(fā)布兩份EUV掩膜評估結(jié)果，結(jié)果顯示EUV供應(yīng)商須在檢測掩膜缺陷能力方面進行改善。并與Zeiss SMS合作通過實驗演示了一項消除缺陷的補償技術(shù)。