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旭硝子進(jìn)軍TFT液晶面板光罩用石英基板市場(chǎng)

時(shí)間：2011-01-15 22:50:00

關(guān)鍵字： TFT 基板石英液晶面板

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[導(dǎo)讀]旭硝子日前宣布，將正式進(jìn)軍生產(chǎn)TFT液晶LCD時(shí)使用的大型光罩用石英基板市場(chǎng)。該公司表示已開(kāi)發(fā)出純度可達(dá)99.9999999％，成本卻較傳統(tǒng)產(chǎn)品低廉1～2成的生產(chǎn)技術(shù)。今后將針對(duì)需求可望逐漸擴(kuò)大的第7代與第8代生產(chǎn)

旭硝子日前宣布，將正式進(jìn)軍生產(chǎn)TFT液晶LCD時(shí)使用的大型光罩用石英基板市場(chǎng)。該公司表示
已開(kāi)發(fā)出純度可達(dá)99.9999999％，成本卻較傳統(tǒng)產(chǎn)品低廉1～2成的生產(chǎn)技術(shù)。今后將針對(duì)需求
可望逐漸擴(kuò)大的第7代與第8代生產(chǎn)線(xiàn)用途積極推展銷(xiāo)售業(yè)務(wù)，希望能于2014年達(dá)成市占率20％
、營(yíng)收30億日?qǐng)A的目標(biāo)。

該公司表示，生產(chǎn)業(yè)務(wù)將由位于日本福島縣的子公司AGC Electronics負(fù)責(zé)，預(yù)定于2011年正
式投產(chǎn)。由于可改良現(xiàn)有生產(chǎn)設(shè)備，因此無(wú)須追加設(shè)備投資。為了提升石英的生成速度，縮減
生產(chǎn)周期，旭硝子采用低溫制程、不純物質(zhì)較難混入的「間接方式」，并透過(guò)技術(shù)改良，使產(chǎn)
品可支援至第10代生產(chǎn)線(xiàn)以上。而競(jìng)爭(zhēng)廠商則多半采用高溫的「直接方式」。

光罩主要用于圖案轉(zhuǎn)換（patterning）制程，將電路圖案轉(zhuǎn)印制電晶體上。由于電路圖案十分
精密，因此需要沒(méi)有損傷、氣泡或歪斜的高品質(zhì)、高純度基板。

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