諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Novellus Systems, Inc.)日前宣布推出VECTOR Extreme™等離子增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng) ，該系統(tǒng)每小時的產(chǎn)量高達250片晶圓，是業(yè)界最快的PECVD設備。與市場上的其它系統(tǒng)相比，VECTOR Extreme可使芯片制造商的平均生產(chǎn)周期縮短40%以上。另外，工廠的晶圓庫存也將顯著降低，使客戶能靈活應對半導體市場不斷變化的需求。

消費電子與電腦產(chǎn)品對固態(tài)存儲器的需求不斷增加促使制造DRAM及NAND閃存器件工廠的產(chǎn)能迅速增加。由于典型存儲器件的制造過程需要二十多道PECVD工序，因此在這些業(yè)界一流的高產(chǎn)能存儲器工廠中，PECVD系統(tǒng)生產(chǎn)量已日益成為影響總體生產(chǎn)周期時間與晶圓庫存水平的重要因素。

諾發(fā)公司的VECTOR Extreme平臺通過將三個多站式順序處理模塊以及多達12個沉積站集成在一個中心晶圓傳送室上，實現(xiàn)了業(yè)界最高的PECVD生產(chǎn)量。當使用這種配置沉積存儲器件生產(chǎn)通常使用的較厚薄膜時，VECTOR Extreme可實現(xiàn)的生產(chǎn)量將是最接近競爭對手的兩倍以上。

“隨著存儲器工廠紛紛上線運行每月計劃晶圓產(chǎn)量超過100,000片的生產(chǎn)線，一個對系統(tǒng)生產(chǎn)量有特殊要求的全新PECVD細分市場已經(jīng)出現(xiàn)。”諾發(fā)公司電介質(zhì)事業(yè)部總經(jīng)理兼高級副總裁Tim Archer先生指出， “VECTOR Extreme吸引了這些超級晶圓廠的注意，因為該設備的生產(chǎn)量高，從而能夠減少總設備數(shù)，縮短工廠生產(chǎn)周期，從而有助于最小化晶圓庫存并降低最終產(chǎn)品成本?！?

諾發(fā)公司VECTOR系列的其它PECVD產(chǎn)品包括VECTOR Express™（于2007年3月推出）以及可實現(xiàn)可灰化硬掩膜(AHM)技術(shù)的VECTOR Express（于2007年6月推出）。VECTOR Express自推出以來迅速得到全球市場的認可，并已開始批量供貨。

批量生產(chǎn)的VECTOR Extreme預計將于2007下半年開始供貨。VECTOR Extreme實現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)量，同時還保持了諾發(fā)公司業(yè)經(jīng)生產(chǎn)驗證的VECTOR Express PECVD系統(tǒng)的工藝透明性。