國際半導體設備和材料協會(SEMI)將于11月10-13日召開會議,聯合業(yè)界廠商確定下一代450mm硅晶圓的標準。
在經過幾輪爭議之后,芯片制造協會Sematech和集成電路產業(yè)已經基本確定了所謂的“機械標準”,將450mm硅晶圓的厚度設定在925±25微米,也就是略大于0.9毫米。相比之下,目前的300mm晶圓厚度只有775微米。
下個月,半導體業(yè)界將爭取指定450mm晶圓的“測試晶圓厚度”標準。
另外Sematech宣布將于2010年前推出32nm工藝的450mm晶圓的演示試用設備,2012年推出試水線并升級到22nm工藝,但沒有透露具體何時投產。根據此前消息,Intel、臺積電、三星計劃在2012年前后完成450mm晶圓廠原型。