德州儀器上周邀請了國外媒體參觀德州理查德森的RFAB，這是業(yè)界首個300mm（12寸）晶圓廠，也是業(yè)界首個經(jīng)過LEED認證的工廠。（補充：LEED認證的定義 LEED美國建筑環(huán)保認證是美國綠色建筑委員會U.S Green Building Council建立并推行的“綠色建筑評估體系”，該體系遵循美國綠色建筑協(xié)會政策和方針，目前在世界各國的各類建筑環(huán)保評估、綠色建筑評估以及可持續(xù)性評估標準中，其被認為是最完善、最具影響力的評估標準。）

RFAB于2004年奠基，2007年建成，經(jīng)過了兩年多閑置，直到2009年TI從奇夢達手中以1.725億美元廉價收購了12寸晶圓生產線后RFAB才得以繼續(xù)。

根據(jù)TI全球技術及生產部全球制造副總裁Paul James Fego表示，如果沒有收購奇夢達設備的話，RFAB將會是8英寸的生產線，而當我們考慮到模擬產品的種類和業(yè)務量后，我們認為可以保證300mm晶圓廠的開工率。

    
TI RFAB面積為110萬平方英尺，其中潔凈室擁有25萬平方英尺。

近距離考察RFAB，目前該工廠已經(jīng)部署了幾十家公司的工藝設備，圖片是Axcelis及Varian Semiconductor Equipment Associates 的離子注入機。

2009年9月份，TI公布了其300mm生產線計劃，幾周內，奇夢達的設備便陸續(xù)抵達了理查德森，與TI理查德森總部只相距幾英里，并且也和TI達拉斯工廠產生了集群效應。RFAB經(jīng)理Tom Weichel透露，就連RFAB辦公室的部分家具，也來自奇夢達工廠。

RFAB在去年底開始試產，目前，25萬平方英尺的潔凈間每天大約生產350片晶圓，預計2011年底這個數(shù)字將達到600-700片。

圖中黑色軌道是RFAB的自動化運輸系統(tǒng)，由日本村田機械自動化生產，可將晶圓自動運輸至各地。

TI 2009年宣布在RFAB雇用約250名員工，但Weichel拒絕透露目前FAB的員工數(shù)量。

據(jù)悉，RFAB總共涉及的工藝設備超過100種。

RFAB是第一個通過LEED認證的FAB，為了實現(xiàn)這一認證，TI需要提高用水、用電效率，以及廢氣排放，生態(tài)循環(huán)以及室內環(huán)境等多方面的標準。為此，TI修建了循環(huán)水凈化系統(tǒng)、雨水儲存系統(tǒng)、以及隔離系統(tǒng)等，在RFAB的辦公室中，同樣包括無水小便池、室內日照系統(tǒng)、太陽能水加熱以及感應燈等細節(jié)。

Weichel承認，部分LEED的認證項目并不適合FAB，在談及如何解決綠色工廠與有毒化學品之間的矛盾時，Weichel表示，“首先我們會把安全放在第一位，其次如果不得不使用一些危險品的話，那么我們會盡量重復利用，將污染降至最低。”