德州儀器上周邀請了國外媒體參觀德州理查德森的RFAB，這是業(yè)界首個300mm（12寸）晶圓廠，也是業(yè)界首個經(jīng)過LEED認(rèn)證的工廠。（補(bǔ)充：LEED認(rèn)證的定義 LEED美國建筑環(huán)保認(rèn)證是美國綠色建筑委員會U.S Green Building Council建立并推行的“綠色建筑評估體系”，該體系遵循美國綠色建筑協(xié)會政策和方針，目前在世界各國的各類建筑環(huán)保評估、綠色建筑評估以及可持續(xù)性評估標(biāo)準(zhǔn)中，其被認(rèn)為是最完善、最具影響力的評估標(biāo)準(zhǔn)。）

RFAB于2004年奠基，2007年建成，經(jīng)過了兩年多閑置，直到2009年TI從奇夢達(dá)手中以1.725億美元廉價收購了12寸晶圓生產(chǎn)線后RFAB才得以繼續(xù)。

根據(jù)TI全球技術(shù)及生產(chǎn)部全球制造副總裁Paul James Fego表示，如果沒有收購奇夢達(dá)設(shè)備的話，RFAB將會是8英寸的生產(chǎn)線，而當(dāng)我們考慮到模擬產(chǎn)品的種類和業(yè)務(wù)量后，我們認(rèn)為可以保證300mm晶圓廠的開工率。

    
TI RFAB面積為110萬平方英尺，其中潔凈室擁有25萬平方英尺。

近距離考察RFAB，目前該工廠已經(jīng)部署了幾十家公司的工藝設(shè)備，圖片是Axcelis及Varian Semiconductor Equipment Associates 的離子注入機(jī)。

2009年9月份，TI公布了其300mm生產(chǎn)線計劃，幾周內(nèi)，奇夢達(dá)的設(shè)備便陸續(xù)抵達(dá)了理查德森，與TI理查德森總部只相距幾英里，并且也和TI達(dá)拉斯工廠產(chǎn)生了集群效應(yīng)。RFAB經(jīng)理Tom Weichel透露，就連RFAB辦公室的部分家具，也來自奇夢達(dá)工廠。

RFAB在去年底開始試產(chǎn)，目前，25萬平方英尺的潔凈間每天大約生產(chǎn)350片晶圓，預(yù)計2011年底這個數(shù)字將達(dá)到600-700片。

圖中黑色軌道是RFAB的自動化運(yùn)輸系統(tǒng)，由日本村田機(jī)械自動化生產(chǎn)，可將晶圓自動運(yùn)輸至各地。

TI 2009年宣布在RFAB雇用約250名員工，但Weichel拒絕透露目前FAB的員工數(shù)量。

據(jù)悉，RFAB總共涉及的工藝設(shè)備超過100種。

RFAB是第一個通過LEED認(rèn)證的FAB，為了實(shí)現(xiàn)這一認(rèn)證，TI需要提高用水、用電效率，以及廢氣排放，生態(tài)循環(huán)以及室內(nèi)環(huán)境等多方面的標(biāo)準(zhǔn)。為此，TI修建了循環(huán)水凈化系統(tǒng)、雨水儲存系統(tǒng)、以及隔離系統(tǒng)等，在RFAB的辦公室中，同樣包括無水小便池、室內(nèi)日照系統(tǒng)、太陽能水加熱以及感應(yīng)燈等細(xì)節(jié)。

Weichel承認(rèn)，部分LEED的認(rèn)證項目并不適合FAB，在談及如何解決綠色工廠與有毒化學(xué)品之間的矛盾時，Weichel表示，“首先我們會把安全放在第一位，其次如果不得不使用一些危險品的話，那么我們會盡量重復(fù)利用，將污染降至最低。”