人機對話技術是半導體儀器儀表發(fā)展的方向，也是未來信息化社會的主流技術。半導體行業(yè)對儀器儀表的使用目的是為了便于更好地控制工藝流程，提高對設備的可控性，如果自動化測試儀表具有強大的人機對話特性，能夠快速、準確地體現設備運行狀態(tài)，在半導體制造工業(yè)中無疑起到了舉足輕重的作用。

自動化儀表的人機對話是通過設備輸入輸出的對話界面實現的，而通過觸摸屏可以讓人們通過簡單操作快速獲取結果，實現直接操控界面，讀取儀表對設備狀態(tài)的檢測數據，從而對工藝過程起到指導作用。這已成為重要的發(fā)展方向。

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