微機電系統(tǒng)MEMS是指可批量制作的，集微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。

MEMS技術采用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術和材料，更側(cè)重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支。

近年來，MEMS呈現(xiàn)出哪些特色和趨勢呢？

1、微型化，體現(xiàn)為體積小、重量輕、耗能低、慣性小等，同時帶來了更短的響應時間。

2、批量生產(chǎn)，由于MEMS以硅為主要材料，因此更便于利用硅微加工工藝而進行大批量生產(chǎn)，能夠極大的降低生產(chǎn)成本。

3、集成化，把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，形成復雜的微系統(tǒng)。集成化的MEMS會帶來更高的穩(wěn)定性與可靠性。

4、多學科交叉，涉及到電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，并不斷的向當前高新高科技集約。

5、多領域應用，如汽車、消費電子、實驗室、工農(nóng)業(yè)、信息、環(huán)境、生物工程、醫(yī)療、空間技術、國防和科學等。