CSR傳來捷報 臺積電:全12吋廠銅離子排放濃度提前達標
臺積電發(fā)布9月份企業(yè)社會責任(CSR)電子報,其中,全部12吋廠銅離子排放濃度提前達標,臺積電表示,這是繼完成高濃度含銅廢液再制銅棒后的另一大創(chuàng)舉。
臺積電積極實踐綠色制造,去年起評估、測試“廢水濃縮再生高濃度銅再電鍍”系統(tǒng)建置,希望借由樹脂與再生濃度選用與調配測試,透過陽離子樹脂塔吸附低濃度銅離子,再用強酸提濃后,以電鍍方式將銅離子再制為銅棒。臺積電預期,待系統(tǒng)建置完成,可望100%取代既有的放流處理流程,實現(xiàn)零含銅廢液排放、資源利用再生愿景。
目前,臺積電以“源頭分流、中間處理、次產物價值提升”銅離子減廢減污3部曲,持續(xù)優(yōu)化處理效率、削減廢液排放濃度,并將廢棄物成功濃縮制成高價值產物。今年9月,全部12吋晶圓廠已提前達成削減排放濃度小于0.1ppm的年度目標(飲用水銅離子標準為1ppm)。
此外,臺積電還透露,為找出處理銅廢液的最適加藥量,公司全面溯源檢討原物料使用與排放情形,歷經多次加藥測試、評估及分析判別結果,找出不同濃度的最適加藥量,并依此研究結果,在12吋晶圓廠廠區(qū)全面實施低濃度含銅廢液(< 2ppm)分流處理系統(tǒng),目前已有效提升20-30%單位藥量銅離子捕捉效能,同時削減化學品添加量、減少化混副產物、避免銅溶出的二次污染。
除強化低濃度廢液回收效益,今年臺積電也針對一般濃度的含銅廢液進行高壓逆滲透處理流程,并進一步將處理后的廢水重新導回廢水處理系統(tǒng)進行再處理,成功降低放流水銅濃度至0.06ppm,改善幅度達14%;同時,回流處理的含銅廢水,亦可利用混凝沉降形成污泥,再制為基底建材。