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金屬中心推晶圓曝光機(jī)

時(shí)間：2010-10-19 07:35:00

關(guān)鍵字：晶圓金屬全自動(dòng) 半導(dǎo)體

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[導(dǎo)讀]記者林政鋒／攝影國產(chǎn)第一臺晶圓級全自動(dòng)曝光機(jī)上市，由科毅公司及金屬中心合作研發(fā)成功，產(chǎn)品良率近百分百，價(jià)格僅進(jìn)口貨的一半，將銷往臺灣與大陸市場，前景看俏。金屬中心董事長黃啟川說，積極發(fā)展高附加價(jià)

記者林政鋒／攝影國產(chǎn)第一臺晶圓級全自動(dòng)曝光機(jī)上市，由科毅公司及金屬中心合作研發(fā)成功，產(chǎn)品良率近百分百，價(jià)格僅進(jìn)口貨的一半，將銷往臺灣與大陸市場，前景看俏。

金屬中心董事長黃啟川說，積極發(fā)展高附加價(jià)值的設(shè)備研發(fā)，目前精密機(jī)電研發(fā)團(tuán)隊(duì)突破多項(xiàng)技術(shù)障礙，先后為國內(nèi)數(shù)家知名廠商完成多項(xiàng)關(guān)鍵設(shè)備開發(fā)，最近第一臺晶圓級全自動(dòng)曝光機(jī)，順利投產(chǎn)，并陸續(xù)接獲來自海內(nèi)外知名廠家的訂單，這是國內(nèi)高階設(shè)備開發(fā)歷史性的一刻。

科毅科技總經(jīng)理林憲維表示，科毅憑借多年的黃光制程設(shè)備經(jīng)驗(yàn)，在工業(yè)局與金屬中心協(xié)助下開發(fā)國產(chǎn)第一臺用于半導(dǎo)體封測產(chǎn)業(yè)的晶圓級全自動(dòng)曝光機(jī)，帶動(dòng)半導(dǎo)體先進(jìn)設(shè)備制造技術(shù)升級。

林憲維指出，晶圓級全自動(dòng)曝光機(jī)屬于精密機(jī)構(gòu)、影像視覺、運(yùn)動(dòng)控制、微影制程等多重領(lǐng)域的技術(shù)整合，開發(fā)門坎相當(dāng)高，因此過去IC封測廠這類自動(dòng)設(shè)備全依賴進(jìn)口，相對成本也偏高。

如今國產(chǎn)品成功上市，每部曝光機(jī)價(jià)格至少比進(jìn)口貨節(jié)省50%，而且產(chǎn)品良率接近百分百，可讓產(chǎn)業(yè)界更有競爭力。

林憲維說，未來科毅將不斷深化專精的微影曝光制程技術(shù)，并將觸角由原來的半導(dǎo)體、LED、太陽光電等，延伸至觸控與軟性電子等熱門產(chǎn)業(yè)。

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