EUV: 一場(chǎng)輸不起的賭局
2010年， ASML將有5臺(tái)最先進(jìn)的EUV設(shè)備整裝發(fā)往全球的5家客戶。業(yè)界傳言，最新的NXE3100系統(tǒng)將發(fā)送給3家頂級(jí)存儲(chǔ)器廠商和2家頂級(jí)邏輯廠商。EUV勝利的曙光正在向我們招手，雖然目前工程師們還在荷蘭Veldhoven專為EUV新建的大樓中忙碌，在設(shè)備出廠前，解決正在發(fā)生的問(wèn)題，并預(yù)測(cè)著各種可能發(fā)生的問(wèn)題及解決方案。
人們談?wù)揈UV的各種技術(shù)問(wèn)題已歷時(shí)數(shù)年，因?yàn)槠洳ㄩL(zhǎng)較目前的193nm縮短10倍以上，EUV一直是通往22nm的實(shí)力派參賽選手之一。與此同時(shí)，延伸immersion技術(shù)，用其它液體替代水，以及電子束曝光(EB)等技術(shù)也不斷被提入摩爾定律的延續(xù)日程。“ASML也曾經(jīng)通過(guò)收購(gòu)進(jìn)入EB領(lǐng)域，但克服速度的瓶頸很難，因此最終選擇了放棄。”ASML資深副總裁Bert Koek說(shuō)。通過(guò)改變液體延長(zhǎng)浸入式光刻到更小線寬的方案，也因?yàn)閷?duì)材料工藝研發(fā)投入的不確定性而在一年前宣布放棄。相信每一次的放棄對(duì)ASML來(lái)說(shuō)都是艱難的抉擇。
而今，EUV已成為ASML進(jìn)軍22nm的唯一賭注。
圖：在ASML的光刻Roadmap中，EUV將主導(dǎo)2011年的先進(jìn)技術(shù)
好在從光源，到光刻膠、掩膜版、鏡頭、真空系統(tǒng)等各個(gè)領(lǐng)域，近年來(lái)ASML與它的供應(yīng)商們團(tuán)結(jié)奮進(jìn)，都取得了不錯(cuò)的進(jìn)展。2009年9月Cymer 13.5nm光源的功率已從2008年底的20w提高到了75w，Burst Length從1mSec提高了到400mSec。為了達(dá)到2010年每小時(shí)60片的短期研發(fā)型產(chǎn)量目標(biāo)，功率再增加一倍是完全需要的。
光刻膠的分辨率也已經(jīng)從2006年的40nm提高到了目前的30nm左右，明年的目標(biāo)是22-25nm。
掩膜版的缺陷數(shù)也從2007年的1000/wafer 提高到了低于100/wafter。這一數(shù)字已經(jīng)進(jìn)入DRAM和NAND可以接受的范圍，但要達(dá)到logic需要的1/wafer標(biāo)準(zhǔn)，還有待進(jìn)一步努力。ASML研發(fā)副總Jos Benschop說(shuō)，掩膜版將是EUV前進(jìn)途中最具挑戰(zhàn)的部分，不僅是技術(shù)，從經(jīng)濟(jì)的角度看也是如此。畢竟所需要的數(shù)量太少，如何實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)低成本的量產(chǎn)絕對(duì)需要硬功夫。
據(jù)ASML介紹，2010年研發(fā)型EUV設(shè)備的價(jià)格將與浸入式光刻基本持平，而如果能成功提升速度到180WPH，達(dá)到量產(chǎn)可以接受的要求，價(jià)格還將有50%左右的提升，即達(dá)到6千萬(wàn)歐元左右。對(duì)ASML來(lái)說(shuō)，這是“華山一條路”，不容退縮，也無(wú)可退縮。
下載文檔據(jù)業(yè)內(nèi)消息，昨天半導(dǎo)體光刻機(jī)供應(yīng)商荷蘭ASML公司發(fā)布了今年Q3季度的財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)， 其中銷售額和利潤(rùn)均好于預(yù)期，凈預(yù)訂數(shù)據(jù)更是創(chuàng)新紀(jì)錄。
關(guān)鍵字： ASML據(jù)彭博社2月9日的消息，荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）警告稱，一家此前被指控竊取其商業(yè)機(jī)密的中國(guó)公司的關(guān)聯(lián)公司已開(kāi)始銷售疑似侵犯其知識(shí)產(chǎn)權(quán)的產(chǎn)品。
關(guān)鍵字： ASML 光刻機(jī) 知識(shí)產(chǎn)權(quán)
廠商專欄
熱門(mén)文章
- 稚暉君機(jī)器人公司否認(rèn)借殼上市 回應(yīng)：只是收購(gòu)了一家上市公司
- 尊湃芯片竊密案宣判：創(chuàng)始人獲刑6年，華為勝訴！
- 突發(fā)！美國(guó)科技巨頭上海AI研究院解散
- 深入解讀MOS管
- 美國(guó)服“軟”！解除EDA出口限制，芯片設(shè)計(jì)不再卡脖子
- 深度解析阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)——L型、pi型與T型
- 小華四開(kāi)關(guān)BUCK-BOOST參考設(shè)計(jì)助力雙向DC/DC電源開(kāi)發(fā)
- 阿里最新17位合伙人名單出爐：9人退出 無(wú)新增
- CAN總線的工作原理是什么？CAN總線和LIN總線有什么區(qū)別？
- 您的低電流測(cè)量精度如何？
編輯精選
論壇活動(dòng)
論壇熱帖
- 1拖3光耦問(wèn)題
- GD32EmbeddedAI模型轉(zhuǎn)換報(bào)錯(cuò)
- AI編程踩坑隨筆
- DC12V的轉(zhuǎn)向燈 經(jīng)典測(cè)試不通過(guò)，4KV就掛了，怎么整改
- 嵌入式高薪崗位有哪些?
- N32WB031_STB板子下載報(bào)錯(cuò)RDDI-DAP Error
- 為智能語(yǔ)音設(shè)備點(diǎn)亮“視界”：我在啟英泰倫CI230X上成功驅(qū)動(dòng)LCD屏
- 這款電池充電器 在51M和140M超標(biāo) 一般是哪里的原因？以下措施用了還是不行
- HC32L021 IAP 偏移做了映射，能跳轉(zhuǎn)但進(jìn)不了APP程序中斷
- 有沒(méi)有做電子產(chǎn)品經(jīng)理的，都是用什么軟件和上那些論壇進(jìn)行學(xué)習(xí)、進(jìn)階，指導(dǎo)
技術(shù)子站
資料下載
技術(shù)學(xué)院
- TrendForce集邦咨詢:英偉達(dá)嘗試調(diào)升HBM4規(guī)格，預(yù)期2026年SK海力士仍是最大供應(yīng)商
- TrendForce集邦咨詢: 預(yù)估2025年全球筆電出貨年增2.2%，東南亞產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張
- TrendForce集邦咨詢: AI推理需求導(dǎo)致Nearline HDD嚴(yán)重缺貨，預(yù)計(jì)2026年QLC SSD出貨有望趁勢(shì)爆發(fā)
- TrendForce集邦咨詢: 庫(kù)存調(diào)整結(jié)束，2Q25全球智能手機(jī)生產(chǎn)總數(shù)達(dá)3億支，季增約4%
- TrendForce集邦咨詢: 2Q25全球牽引逆變器裝機(jī)量年增19%，增程式電動(dòng)車助力SiC機(jī)種普及
- TrendForce集邦咨詢: AI與通用型服務(wù)器驅(qū)動(dòng)需求，2Q25前五大企業(yè)級(jí)SSD品牌廠營(yíng)收季增12.7%
- TrendForce集邦咨詢：預(yù)估2025年iPhone 17系列出貨量小幅成長(zhǎng)，Air系列將引領(lǐng)產(chǎn)品線變革
- TrendForce集邦咨詢: 國(guó)際大廠加速投入，預(yù)估2030年AR眼鏡出貨量達(dá)3,210萬(wàn)臺(tái)
