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MEMS

我要報(bào)錯(cuò)
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。微機(jī)電系統(tǒng)其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)，是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)）基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。微機(jī)電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機(jī)械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號(hào)處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是一項(xiàng)革命性的新技術(shù)，廣泛應(yīng)用于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，是一項(xiàng)關(guān)系到國(guó)家的科技發(fā)展、經(jīng)濟(jì)繁榮和國(guó)防安全的關(guān)鍵技術(shù)。MEMS側(cè)重于超精密機(jī)械加工，涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面涵蓋微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理、化學(xué)、機(jī)械學(xué)的各分支。常

  • 車用MEMS景氣復(fù)蘇 Bosch和Denso領(lǐng)先群雄

    在全球汽車市場(chǎng)逐漸復(fù)蘇的情況下，今年車用MEMS傳感器的市場(chǎng)規(guī)模預(yù)估將有明顯成長(zhǎng)，而全球排名前面的車用MEMS傳感器供應(yīng)大廠包括博世（Bosch Sensortec）、Denso、飛思卡爾（Freescale）、Sensata Technologies、ADI

  • MEMS流體陀螺的研究進(jìn)展

    本文根據(jù)微流體陀螺的不同原理介紹了幾種常見的MEMS微流體陀螺，并對(duì)它們的基本原理、優(yōu)缺點(diǎn)和應(yīng)用前景進(jìn)行了簡(jiǎn)單的介紹

  • MEMS汽車傳感器將在2010年出現(xiàn)短期反彈

    預(yù)計(jì)2010年全球汽車MEMS傳感器出貨量將達(dá)到5.912億個(gè)，比2009年的5.020億勁增17.8%。2009年MEMS傳感器市場(chǎng)劇烈波動(dòng)，年初的時(shí)候由于經(jīng)濟(jì)衰退的影響，傳感器公司的訂單幾乎枯竭，但第四季度出貨量迅速上升，甚至超過了

  • ADI新增兩款精密MEMS慣性傳感器ADIS16135和ADIS16385

    ADI公司的最新 iSensor(R) 陀螺儀和IMU在工廠完成全部校準(zhǔn)，能夠在機(jī)器人、導(dǎo)航系統(tǒng)和其它工業(yè)儀器應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)出色的穩(wěn)定控制。涉及平臺(tái)穩(wěn)定、導(dǎo)航或精密測(cè)量與診斷的工業(yè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)都有賴于多路傳感器輸入。在存在沖擊

  • MEMS汽車傳感器在2010年反彈，預(yù)計(jì)出貨量將達(dá)5.912億個(gè)

    據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研，在經(jīng)歷了近年來最糟糕的一年之后，微機(jī)電(MEMS)汽車傳感器將在2010年強(qiáng)勁反彈，但銷售持續(xù)紅火可能在今年稍晚的時(shí)候?qū)е率袌?chǎng)過熱，進(jìn)而把該產(chǎn)業(yè)拖回到衰退之中。 預(yù)計(jì)2010年全球汽車MEMS

  • 搶攻MEMS市場(chǎng)　Freescale拓展行動(dòng)感測(cè)平臺(tái)

    根據(jù)市調(diào)機(jī)構(gòu)統(tǒng)計(jì)，消費(fèi)移動(dòng)性裝置的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的市場(chǎng)，2013年前將持續(xù)擴(kuò)張到27億美金以上，為搶攻移動(dòng)感測(cè)市場(chǎng)， 半導(dǎo)體大廠飛思卡爾(Freescale)推出Xtrinsic感測(cè)解決方案，拓展汽車、消費(fèi)性電子業(yè)與工業(yè)電子

  • 一次性胰島素泵“Jewel Pump”(ST與Debiotech)

    Debiotech和意法半導(dǎo)體宣布，將在美國(guó)糖尿病協(xié)會(huì)（ADA）第70屆科學(xué)研討會(huì)（6月25-29日）公開展示雙方合作研發(fā)的新型胰島素泵“Jewel Pump”。這款微型器件展現(xiàn)當(dāng)前在糖尿病治療領(lǐng)域最先進(jìn)的微流控MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）

  • 2010年MEMS汽車傳感器出貨量將增17.8%

    據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研，在經(jīng)歷了近年來最糟糕的一年之后，微機(jī)電(MEMS)汽車傳感器將在2010年強(qiáng)勁反彈，但銷售持續(xù)紅火可能在今年稍晚的時(shí)候?qū)е率袌?chǎng)過熱，進(jìn)而把該產(chǎn)業(yè)拖回到衰退之中。 預(yù)計(jì)2010年全球汽車MEMS傳

  • MEMS汽車傳感器將在2010年反彈

    據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研，在經(jīng)歷了近年來最糟糕的一年之后，微機(jī)電(MEMS)汽車傳感器將在2010年強(qiáng)勁反彈，但銷售持續(xù)紅火可能在今年稍晚的時(shí)候?qū)е率袌?chǎng)過熱，進(jìn)而把該產(chǎn)業(yè)拖回到衰退之中。預(yù)計(jì)2010年全球汽車MEMS傳感

  • MEMS汽車傳感器將在2010年反彈

    據(jù)iSuppli公司的最新調(diào)研，在經(jīng)歷了近年來最糟糕的一年之后，微機(jī)電(MEMS)汽車傳感器將在2010年強(qiáng)勁反彈，但銷售持續(xù)紅火可能在今年稍晚的時(shí)候?qū)е率袌?chǎng)過熱，進(jìn)而把該產(chǎn)業(yè)拖回到衰退之中。預(yù)計(jì)2010年全球汽車MEMS傳感

  • MEMS訂單旺 菱生Q3產(chǎn)能滿載

    封測(cè)廠菱生精密（2369）受惠NOR閃存及模擬IC等訂單持續(xù)涌入，加上陀螺儀（Gyroscope）等微機(jī)電（MEMS）封測(cè)訂單進(jìn)入高速成長(zhǎng)，第2季營(yíng)收可望沖上17.5億元，創(chuàng)下歷史新高，第3季產(chǎn)能利用率仍將全數(shù)滿載。由于三星、

  • Imec開始提供SiGe-MEMS代工服務(wù)

    Imec擴(kuò)展了其CMORE服務(wù)，新增了SiGe-MEMS代工服務(wù)以及面向高校和研究機(jī)構(gòu)的MPW服務(wù)。這些服務(wù)都是基于其單片集成SiGe MEMS工藝線，并提供了擴(kuò)展的設(shè)計(jì)工具包。 Imec’s CMORE offering extended with SiGe-MEMS foun

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    2010-06-24
    DESIGN LAYER SIGE MEMS

  • 硅格調(diào)幅80%，第5家調(diào)高資本支出IC封測(cè)廠

    IC封測(cè)廠硅格（6257）日前股東會(huì)順利通過配發(fā)1.2元現(xiàn)金股利，該公司董事長(zhǎng)黃興陽(yáng)并在股東會(huì)上宣布調(diào)高今年度資本支出，他表示，由于公司現(xiàn)有廠房及設(shè)備均已不敷需求，因此今年度的資本支出也將從原先的規(guī)畫16.4億元提

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    2010-06-18
    IC QFN BLUETOOTH MEMS

  • Multitest為壓力傳感器推出MEMS解決方案

    為半導(dǎo)體行業(yè)提供測(cè)試設(shè)備的全球領(lǐng)先制造商Multitest公司日前宣布消息，其MEMS測(cè)試和校準(zhǔn)設(shè)備理念現(xiàn)已延伸到壓力傳感器產(chǎn)品領(lǐng)域，此類常見應(yīng)用包括各類壓力監(jiān)測(cè)，如高度計(jì)、輪胎壓力控制、差分壓力傳感器及各種醫(yī)療或

  • 手機(jī)內(nèi)建MEMS新風(fēng)潮 菱生收成有靠山

    蘋果發(fā)表最新智能型手機(jī)iPhone 4G，率先導(dǎo)入加速度計(jì)（Accelerometer）、3軸陀螺儀（3-axis Gyroscope）等微機(jī)電（MEMS）組件，勢(shì)必會(huì)引爆全球智能型手機(jī)廠跟進(jìn)采用MEMS組件風(fēng)潮。而布局MEMS封測(cè)市場(chǎng)長(zhǎng)達(dá)5年時(shí)間的

  • ADI首款完全可編程三軸MEMS振動(dòng)傳感器問世

    美商亞德諾(AnalogDevices,Inc.,ADI)開發(fā)出一款具有大頻寬的三軸嵌入式振動(dòng)傳感器ADIS16223，這款iSensor加速度計(jì)具備了用于工業(yè)設(shè)備振動(dòng)監(jiān)測(cè)方面之更大積木位準(zhǔn)(bricklevel)解決方案的能力與可編程性，不僅體積小、

  • 臺(tái)積補(bǔ)帖 封測(cè)好氣色

    晶圓代工廠臺(tái)積電(2330)5月營(yíng)收傳出再創(chuàng)新猷利多，這讓專門幫晶圓廠代工的封測(cè)廠，吃下一顆大補(bǔ)丸，封測(cè)業(yè)者表示，封測(cè)產(chǎn)業(yè)景氣變化約延遲晶圓廠三個(gè)月，換言之，臺(tái)積電5月還創(chuàng)新猷，封測(cè)廠至少到第三季底的接單透

  • Howard Wisniowski：ADI的第三次MEMS革命

    熟悉ADI的人都知道，在車用MEMS領(lǐng)域，ADI有著經(jīng)典的成功案例，也曾被收錄進(jìn)MBA教程。如今，借由正熱播的愛麗絲及鋼鐵俠，ADI高調(diào)宣布其MEMS技術(shù)已成功進(jìn)入了好萊塢，標(biāo)志著第三次MEMS革命的帷幕即將拉開。我們

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    2010-06-11
    NI ADI IO MEMS

  • X-FAB公布8英寸MEMS晶片工藝

    X-FAB Silicon Foundries，業(yè)界領(lǐng)先的模擬/混合信號(hào)晶圓廠及“超越摩爾定律”技術(shù)的專家，今天宣布其將擴(kuò)大自身的晶圓廠服務(wù)，囊括8英寸(200毫米)MEMS晶片工藝。移至更大的晶片直徑及單片電路的MEMS/CMOS集

  • ADI MEMS加速度計(jì)獲《DESIGN NEWS》雜志GOLDEN MOUSETRAP獎(jiǎng)

    北京2010年6月7日電 /美通社亞洲/ -- 全球信號(hào)處理應(yīng)用的半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)廠商 Analog Devices, Inc. (ADI) 美商亞德諾公司，其 ADXL345數(shù)字 iMEMS(R)（整合型微機(jī)電系統(tǒng)）加速度計(jì)榮獲《Design News》雜志 Golden Mou

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    2010-06-07
    ADI DESIGN GOLDEN MEMS