2017年10月25日-27日，為期3天的第90屆中國電子展于上海國際博覽中心如期舉行。中國電子展(CEF)始于1964年，是中國歷史最悠久、最權威的電子行業(yè)展會，今年的展會的主題為“信息化帶動工業(yè)化，電子技術促進產(chǎn)業(yè)升級”，現(xiàn)場共有1300家參展商，吸引了將近60000名買家及專業(yè)觀眾前來參會。如此盛大的行業(yè)展會，21ic當然不會錯過。

在參觀了多家廠商的展臺之后，21ic記者駐足在一家叫中微半導體的公司，并對中微副總裁李天笑進行了采訪，中微是一家怎樣的企業(yè)?中微把握著哪些半導體行業(yè)的重要技術命脈?記者帶著大家一塊去深入了解。

在采訪中，李天笑給我們介紹了此次展會中微的主要參展產(chǎn)品。展品主要包括金屬有機化合物氣相沉積設備MOCVD設備模型，它是用于LED、功率器件、Micro LED和第三代半導體器件制造的最關鍵設備。

還有中微公司自主研發(fā)生產(chǎn)的Prismo系列MOCVD設備，該設備是國內(nèi)最早成功進入多家主要LED和功率器件生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)線的MOCVD設備。最新型號的Prismo A7已通過驗證并實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。中微716mm大托盤的MOCVD設備在國內(nèi)多條先進的LED生產(chǎn)線上表現(xiàn)出了優(yōu)異的性能、穩(wěn)定的器件良率和較高的生產(chǎn)效率，證明能連續(xù)加工120批次以上，已達到國際市場上同類產(chǎn)品的世界先進水平。

更值得一提的是，今年中微的MOCVD實現(xiàn)了中國半導體設備歷史上從未有過的大翻身，從去年美國Veeco設備占國內(nèi)LED藍光市場90%以上，到今年中微自主研發(fā)的28英寸MOCVD超大反應器設備占到國內(nèi)MOCVD 市場的80%以上，打破了美國Veeco公司和德國Aixtron公司在MOCVD設備市場的長期壟斷。

在了解了中微的展品之后，李天笑進一步給我們介紹了中微的發(fā)展歷史和先進工藝。

中微半導體設備(上海)有限公司是一家以中國為基地、面向全球的微觀加工高端設備公司。通過向世界領先的集成電路和LED芯片制造商提供極具競爭力的高端設備和高質(zhì)量的服務，中微為客戶的技術水平提升、生產(chǎn)效率提高、生產(chǎn)成本降低和競爭力增強做出了重要貢獻。

中微公司目前主要有三大類產(chǎn)品：用于納米級芯片生產(chǎn)的介質(zhì)刻蝕設備(D-RIE)、用于三維芯片等多種產(chǎn)品生產(chǎn)的硅通孔刻蝕設備(TSV)和用于半導體照明和功率器件芯片生產(chǎn)的金屬有機化合物氣相沉積設備(MOCVD)。

中微公司作為國內(nèi)集成電路裝備制造旗艦企業(yè)，成功研發(fā)了具有自主知識產(chǎn)權的介質(zhì)刻蝕機，已達到國際最先進的等離子體刻蝕微觀加工的水平，被廣泛應用于海內(nèi)外一流客戶芯片生產(chǎn)線從65納米到7納米工藝的芯片加工制造，已在國內(nèi)外27條高端芯片生產(chǎn)線實現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)，7納米刻蝕應用在臺積電核準進入試生產(chǎn)。中微是唯一進入臺積電7納米制程刻蝕設備的中國大陸本土設備商。

美國商務部在實地考察了中微和中芯國際之后，2015年2月9日美發(fā)布公告，由于“中國事實上已經(jīng)有能力從中國的來源得到批量的且有相當質(zhì)量的此類刻蝕設備”，將等離子體刻蝕設備從“常規(guī)武器和兩用物品及技術出口控制”的“兩用”清單中移除，即不再限制對華出口刻蝕設備。這標志著打破西方國家在集成電路高端裝備的壟斷和對中國封鎖的目標實現(xiàn)了。

中微已有超過470個等離子介質(zhì)刻蝕反應臺在海內(nèi)外集成電路芯片制造企業(yè)生產(chǎn)線上高質(zhì)量、穩(wěn)定地生產(chǎn)了4400多萬片12英寸晶圓(被應用于從45納米到7納米的工藝);超過100個中微的硅通孔刻蝕反應臺裝備了國內(nèi)幾乎所有的先進封裝企業(yè)和一些有相關應用的海外企業(yè);上百臺MOCVD設備在一年內(nèi)投入LED芯片及功率器件外延晶片制造業(yè)中領先企業(yè)的大規(guī)模生產(chǎn)線，迅速占領了國內(nèi)大半個制造藍光LED的MOCVD市場。中微的客戶目前已遍布中國大陸、臺灣、新加坡、韓國、日本、德國、意大利、俄羅斯等國家和地區(qū)。

中微能取得如此大的成績的核心“秘訣”就在于人才。李天笑跟21ic記者談到，中微核心高管都是原來世界前三公司的核心技術人物，同時也培養(yǎng)了很多的IC設計新人。中微對自己的定位非常清晰，“中微是一個研發(fā)型企業(yè)，其核心不在于有多少設備、多少廠房、多少土地，而在于有多少優(yōu)秀的、一流的人才。吸引人才、培養(yǎng)人才，才是中微發(fā)展的頭等大事。”中微的目標是打造一支“奧林匹克”人才團隊，中微堅持原創(chuàng)正向設計，目前已經(jīng)專利申請1000多項專利。

最后談到未來的發(fā)展方向，李天笑表示，中微將著重研發(fā)生產(chǎn)半導體/集成電路前端、后端制造的高端刻蝕和CVD設備，在其他需要微觀制造設備的新興領域拓展產(chǎn)品線，探索與人類生活息息相關的高科技應用。